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Danksagung 149
Danksagung
Bei Herrn Prof. H. Wagner und Herrn Prof. H. Lüth möchte ich mich für die Möglichkeit
bedanken, meine Arbeit am Institut für Schicht- und Ionentechnik, Abteilung Photovoltaik
durchführen zu können. Die hervorragende personelle und materielle Infrastruktur dieses
Instituts hat entscheidend zum Gelingen meiner Arbeit beigetragen.
Mein besonderer Dank gilt meinem Betreuer, Herrn Dr. R. Carius, der durch sein fundiertes
Fachwissen und seinen Überblick über viele Bereiche der Physik immer Antworten auf meine
Fragen wußte und viele Ideen und Konzepte beisteuerte.
Bei Herrn Dip!. Ing. J. Klomfaß bedanke ich mich für seine Hilfe beim Aufbau der Anlage zur
Laserkristallisierung. Vor allem in den Bereichen Steuer- und Regelungstechnik konnte ich
auf seine langjährigen Erfahrungen zurückgreifen. Herr Dipl. Ing. J. Klomfaß war auch für die
PDS-Messungen verantwortlich.
Ich möchte mich auch sehr herzlich bei unserer Diplomandin, Frau Dip!. Ing. A. Klatt,
bedanken, die bei der Programmierung der Lasersteuerung mit vielen Unzulänglichkeiten der
Steuerelektronik des Laserboards zu kämpfen hatte. Sie war am Gelingen der strukturierten
Laserkristallisierung wesentlich beteiligt.
Herr Dipl.-Phys. L. Houben fertigte alle TEM-Aufnahmen und XRD-Messungen für diese
Arbeit an. Seinem experimentellen Geschick und seinem tiefen Verständnis der Elektronenmikroskopie
verdanke ich die Vielzahl der Aufnahmen und deren Interpretationen.
Bedanken möchte ich mich auch bei Herrn Dip!.-Phys. L. Kappius, in dessen Anlage die
CoSh-Schichten hergestellt wurden, für die sehr gute Zusammenarbeit und den Aufwand, den
die Schichtherstellung auf den für ihn teilweise exotischen Substraten verursacht hat.
In diesem Zusammenhang gilt mein besonderer Dank auch Herrn Dr. P. Hapke, der sehr
großes Interesse an dem Silizidprojekt zeigte und die PECVD-Depositionen auf diesen und
anderen Substraten in der Sechskammeranlage übernahm.
Der Konstruktion und der Werkstatt des ISI, namentlich Herrn Dip!. Ing. W. Klein, Herrn
H. J Schäffer, und Herrn H.M. Schwan danke ich für die hervorragende Zusammenarbeit bei
Entwurf und Fertigung von wichtigen Bauteilen meiner Apparaturen.