Koordinatenmesstechnik als Schlüssel- technologie der - PTB
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392 • Themenschwerpunkt <strong>PTB</strong>-Mitteilungen 117 (2007), Heft 4<br />
Bild 5:<br />
Erprobte Ausführungen<br />
<strong>der</strong> Zielmarke für den<br />
taktil-optischen 3D-Taster<br />
(Durchmesser <strong>der</strong> Faser<br />
im Bereich des Tasterschaftes:<br />
250 µm)<br />
Um eine geeignete Zielmarke am Tasterschaft zu<br />
realisieren, wurden verschiedene Ausführungen<br />
untersucht (Bild 5). Im Einzelnen waren dies:<br />
• eine seitlich an den Tasterschaft geklebte<br />
Kugel (wie schon in [2] vorgeschlagen),<br />
• eine kugelförmige Verdickung im Taster-<br />
schaft, <strong>der</strong> so genannte Zweikugeltaster,<br />
• ein Übergang des Tasterschaftdurchmessers,<br />
• eine Dünnstelle im Tasterschaft,<br />
• ein kurzes Stück Kapillare, das über die Faser<br />
gestülpt und verklebt wird.<br />
Die besten Eigenschaften zeigte die seitlich angeklebte<br />
Kugel. Sie lässt sich <strong>als</strong> einzige Marke<br />
durch eine Best-Fit Einpassung eines Kreises<br />
mit Hilfe <strong>der</strong> Bildverarbeitung lokalisieren. Alle<br />
an<strong>der</strong>en Zielmarken erfor<strong>der</strong>n die Verwendung<br />
eines Korrelators, <strong>der</strong> das Bild <strong>der</strong> Zielmarke mit<br />
einem zuvor aufgenommenen Referenzbild bei<br />
nicht ausgelenktem Taster vergleicht. Darüber<br />
hinaus lassen sich mit dieser Zielmarke am leichtesten<br />
scharf abgebildete horizontale Kanten im<br />
Bild erreichen, wodurch die Lokalisierung <strong>der</strong><br />
Zielmarke in z-Richtung ermöglicht wird.<br />
3.2 3D-Messanordnungen mit Ringauswertung<br />
Die Verwendung einer 2. Kamera in <strong>der</strong> zuvor<br />
beschriebenen Anordnung bedingt einen erhöhten<br />
apparativen Aufwand und eine gesteigerte<br />
Bild 6:<br />
Antastelement mit metallbeschichteter<br />
Halbkugel.<br />
Links: Realisierung,<br />
Rechts: von <strong>der</strong> Kamera<br />
aufgenommene Tasterbil<strong>der</strong><br />
im Eigenleuchtmodus<br />
bei unterschiedlichen<br />
Fokuszuständen<br />
Kollisionsgefahr mit dem Werkstück. Es wurde<br />
daher nach Anordnungen gesucht, die 3D-Informationen<br />
ohne eine 2. Kamera liefern.<br />
Die Grundidee <strong>der</strong> 3D-Messung mit Ringauswertung<br />
besteht darin, aus <strong>der</strong> Größe des Tastelementes<br />
o<strong>der</strong> einer Zielmarke im Bild <strong>der</strong><br />
1. Kamera auf die z-Position des Antastelementes<br />
bzw. <strong>der</strong> Zielmarke zu schließen. Bei <strong>der</strong> bisherigen<br />
Anordnung än<strong>der</strong>t sich diese Größe aber<br />
bei einer z-Auslenkung des Tasters praktisch<br />
nicht, weil die 1. Kamera eine telezentrische Optik<br />
verwendet. Diese ist die Voraussetzung für<br />
eine genaue Messung in x- und y-Richtung.<br />
Wird dagegen ein Antastelement mit spiegelnd<br />
beschichteter Unterseite verwendet, ist im<br />
Eigenleuchtmodus ein leuchten<strong>der</strong> Ring sichtbar<br />
(Bild 6). Zusätzlich wirkt die beschichtete Unterseite<br />
des kugelförmigen Antastelement wie ein<br />
Hohlspiegel, weshalb sich die Größe des Bildes<br />
des Antastelementes in Abhängigkeit von<br />
<strong>der</strong> z-Verformung des Tasters deutlich än<strong>der</strong>t<br />
(Bild 7). Ein 3D-Taster ergibt sich somit, indem<br />
die x- und y-Position aus <strong>der</strong> Position des Ringes<br />
im Kamerabild sowie den Positionen <strong>der</strong> Achsen<br />
des KMGs und die z-Position aus dem Ringdurchmesser<br />
(Tasterauslenkung) sowie den<br />
Positionen <strong>der</strong> Achsen des KMGs (Position <strong>der</strong><br />
Tasterhalterung) bestimmt wird. Die 3D-Anordnung<br />
mit Ringauswertung benötigt somit außer<br />
dem speziell beschichteten Taster keine zusätzliche<br />
Hardware. Zudem ist die Bestimmung des<br />
Ringdurchmessers in <strong>der</strong> Standard-Auswertesoftware<br />
optischer KMGs enthalten.<br />
Die Unterseite des nur ca. 100 µm großen<br />
Antastelementes (Bild 6) wurde im wissenschaftlichen<br />
Gerätebau <strong>der</strong> <strong>PTB</strong> verspiegelt. Dabei<br />
kamen Beschichtungsverfahren zum Einsatz<br />
(Sputtern), die aus <strong>der</strong> Mikrotechnik stammen.<br />
Beson<strong>der</strong>e Anfor<strong>der</strong>ungen ergaben sich aus <strong>der</strong><br />
Notwendigkeit einer gut reflektierenden und bei<br />
mechanischen Antastungen haltbaren Schicht sowie<br />
geringen Formabweichungen des Antastelementes<br />
durch ein kantenfreies Schichtende. Das<br />
Antastelement befand sich daher während des<br />
Sputterns innerhalb einer speziellen Blende.