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Koordinatenmesstechnik als Schlüssel- technologie der - PTB

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392 • Themenschwerpunkt <strong>PTB</strong>-Mitteilungen 117 (2007), Heft 4<br />

Bild 5:<br />

Erprobte Ausführungen<br />

<strong>der</strong> Zielmarke für den<br />

taktil-optischen 3D-Taster<br />

(Durchmesser <strong>der</strong> Faser<br />

im Bereich des Tasterschaftes:<br />

250 µm)<br />

Um eine geeignete Zielmarke am Tasterschaft zu<br />

realisieren, wurden verschiedene Ausführungen<br />

untersucht (Bild 5). Im Einzelnen waren dies:<br />

• eine seitlich an den Tasterschaft geklebte<br />

Kugel (wie schon in [2] vorgeschlagen),<br />

• eine kugelförmige Verdickung im Taster-<br />

schaft, <strong>der</strong> so genannte Zweikugeltaster,<br />

• ein Übergang des Tasterschaftdurchmessers,<br />

• eine Dünnstelle im Tasterschaft,<br />

• ein kurzes Stück Kapillare, das über die Faser<br />

gestülpt und verklebt wird.<br />

Die besten Eigenschaften zeigte die seitlich angeklebte<br />

Kugel. Sie lässt sich <strong>als</strong> einzige Marke<br />

durch eine Best-Fit Einpassung eines Kreises<br />

mit Hilfe <strong>der</strong> Bildverarbeitung lokalisieren. Alle<br />

an<strong>der</strong>en Zielmarken erfor<strong>der</strong>n die Verwendung<br />

eines Korrelators, <strong>der</strong> das Bild <strong>der</strong> Zielmarke mit<br />

einem zuvor aufgenommenen Referenzbild bei<br />

nicht ausgelenktem Taster vergleicht. Darüber<br />

hinaus lassen sich mit dieser Zielmarke am leichtesten<br />

scharf abgebildete horizontale Kanten im<br />

Bild erreichen, wodurch die Lokalisierung <strong>der</strong><br />

Zielmarke in z-Richtung ermöglicht wird.<br />

3.2 3D-Messanordnungen mit Ringauswertung<br />

Die Verwendung einer 2. Kamera in <strong>der</strong> zuvor<br />

beschriebenen Anordnung bedingt einen erhöhten<br />

apparativen Aufwand und eine gesteigerte<br />

Bild 6:<br />

Antastelement mit metallbeschichteter<br />

Halbkugel.<br />

Links: Realisierung,<br />

Rechts: von <strong>der</strong> Kamera<br />

aufgenommene Tasterbil<strong>der</strong><br />

im Eigenleuchtmodus<br />

bei unterschiedlichen<br />

Fokuszuständen<br />

Kollisionsgefahr mit dem Werkstück. Es wurde<br />

daher nach Anordnungen gesucht, die 3D-Informationen<br />

ohne eine 2. Kamera liefern.<br />

Die Grundidee <strong>der</strong> 3D-Messung mit Ringauswertung<br />

besteht darin, aus <strong>der</strong> Größe des Tastelementes<br />

o<strong>der</strong> einer Zielmarke im Bild <strong>der</strong><br />

1. Kamera auf die z-Position des Antastelementes<br />

bzw. <strong>der</strong> Zielmarke zu schließen. Bei <strong>der</strong> bisherigen<br />

Anordnung än<strong>der</strong>t sich diese Größe aber<br />

bei einer z-Auslenkung des Tasters praktisch<br />

nicht, weil die 1. Kamera eine telezentrische Optik<br />

verwendet. Diese ist die Voraussetzung für<br />

eine genaue Messung in x- und y-Richtung.<br />

Wird dagegen ein Antastelement mit spiegelnd<br />

beschichteter Unterseite verwendet, ist im<br />

Eigenleuchtmodus ein leuchten<strong>der</strong> Ring sichtbar<br />

(Bild 6). Zusätzlich wirkt die beschichtete Unterseite<br />

des kugelförmigen Antastelement wie ein<br />

Hohlspiegel, weshalb sich die Größe des Bildes<br />

des Antastelementes in Abhängigkeit von<br />

<strong>der</strong> z-Verformung des Tasters deutlich än<strong>der</strong>t<br />

(Bild 7). Ein 3D-Taster ergibt sich somit, indem<br />

die x- und y-Position aus <strong>der</strong> Position des Ringes<br />

im Kamerabild sowie den Positionen <strong>der</strong> Achsen<br />

des KMGs und die z-Position aus dem Ringdurchmesser<br />

(Tasterauslenkung) sowie den<br />

Positionen <strong>der</strong> Achsen des KMGs (Position <strong>der</strong><br />

Tasterhalterung) bestimmt wird. Die 3D-Anordnung<br />

mit Ringauswertung benötigt somit außer<br />

dem speziell beschichteten Taster keine zusätzliche<br />

Hardware. Zudem ist die Bestimmung des<br />

Ringdurchmessers in <strong>der</strong> Standard-Auswertesoftware<br />

optischer KMGs enthalten.<br />

Die Unterseite des nur ca. 100 µm großen<br />

Antastelementes (Bild 6) wurde im wissenschaftlichen<br />

Gerätebau <strong>der</strong> <strong>PTB</strong> verspiegelt. Dabei<br />

kamen Beschichtungsverfahren zum Einsatz<br />

(Sputtern), die aus <strong>der</strong> Mikrotechnik stammen.<br />

Beson<strong>der</strong>e Anfor<strong>der</strong>ungen ergaben sich aus <strong>der</strong><br />

Notwendigkeit einer gut reflektierenden und bei<br />

mechanischen Antastungen haltbaren Schicht sowie<br />

geringen Formabweichungen des Antastelementes<br />

durch ein kantenfreies Schichtende. Das<br />

Antastelement befand sich daher während des<br />

Sputterns innerhalb einer speziellen Blende.

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