Koordinatenmesstechnik als Schlüssel- technologie der - PTB
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<strong>PTB</strong>-Mitteilungen 117 (2007), Heft 4 Themenschwerpunkt • 355<br />
3 Herausfor<strong>der</strong>ung Genauigkeits-<br />
steigerung<br />
Eine beson<strong>der</strong>e Herausfor<strong>der</strong>ung für die <strong>PTB</strong><br />
besteht dabei darin, dass sie im Prinzip die<br />
gleichen KMG verwendet, die auch von den<br />
industriellen Anwen<strong>der</strong>n genutzt werden. Die<br />
zur Rückführung nötige Genauigkeitssteigerung<br />
<strong>der</strong> <strong>PTB</strong>-Messung muss daher durch beson<strong>der</strong>e<br />
Messverfahren, hochstabile Umgebungsbe-<br />
dingungen und geeignete Hard- und Softwareerweiterungen,<br />
wie etwa spezieller Auswertesoftware,<br />
erreicht werden.<br />
Die <strong>PTB</strong> verfügt zudem über ein hohes Maß<br />
an Kontinuität in <strong>der</strong> Messtechnik. So werden<br />
z.B. einige Messverfahren schon seit Jahrzehnten<br />
mit an<strong>der</strong>en Nationalen Metrologieinstituten<br />
(NMI) europa- und weltweit verglichen. So<br />
können langfristige Drifteffekte o<strong>der</strong> unbekannte<br />
systematische Abweichungen identifiziert<br />
werden. In letzter Zeit ist diese Zusammenarbeit<br />
durch den MRA („Mutual Recognition<br />
Agreement“) und die dadurch initiierten CIPM-<br />
<strong>Schlüssel</strong>vergleichsmessungen („Key Comparisons“)<br />
formalisiert worden.<br />
Bild 2:<br />
Messrohprofile eines Rundheitsnorm<strong>als</strong> ohne (links)<br />
und nach Anwendung eines Fehlertrennverfahrens<br />
(rechts)<br />
3.1 Selbstkalibrierverfahren<br />
Zu den Messverfahren mit erhöhter Genauigkeit<br />
zählen insbeson<strong>der</strong>e die Fehlertrenn- o<strong>der</strong><br />
Selbstkalibrierverfahren [1]. Ein Beispiel hierzu<br />
zeigt Bild 2. Durch die Anwendung des Fehlertrennverfahrens<br />
Mehrlagenmessung wurde<br />
Bild 3:<br />
Geradheitsmesslinien eines Zylin<strong>der</strong>s ohne (links) und<br />
nach Anwendung eines Umschlagverfahrens (rechts)<br />
<strong>der</strong> Spindelfehler eines Rundheitsmessgeräts<br />
vollständig eliminiert. Ein weiteres Beispiel zeigt<br />
Bild 3. Hier wurde bei <strong>der</strong> Kalibrierung eines<br />
Zylin<strong>der</strong>s durch ein Umschlagverfahren eine<br />
Parallelitätskorrektur <strong>der</strong> Geradheitsmesslinien<br />
durchgeführt.<br />
4 Rückführung von 1D-KMG<br />
4.1 Formmessgeräte<br />
Formmessgeräte dienen zum Messen von<br />
Formabweichungen wie Rundheit, Geradheit,<br />
Ebenheit und Zylindrizität sowie <strong>der</strong> Lageabweichung<br />
Parallelität. Formmessgeräte besitzen<br />
eine o<strong>der</strong> mehrere hochgenaue Messachsen. Die<br />
häufigste Klasse „Zylin<strong>der</strong>formmessgerät“ verfügt<br />
meistens über eine radiale R- o<strong>der</strong> X-Achse,<br />
eine Z-Achse sowie eine C-Achse, die durch einen<br />
Drehtisch o<strong>der</strong> eine Drehspindel verkörpert<br />
wird. Für ihre Rückführung ist die Einmessung<br />
<strong>der</strong> Signalübertragungskette vom Tastsystem bis<br />
zur Datenerfassung nötig. Dazu dient ein Normal<br />
mit einer signifikanten Formabweichung. Da<br />
die Drehachse bei allen Formmessgeräten die genaueste<br />
ist, wird dazu bevorzugt ein durch eine<br />
Rundheitsmessung erfassbares Normal gewählt.<br />
Weitere Normale sind notwendig, um die<br />
Führungsabweichungen des Formmessgeräts<br />
zu prüfen. Im Prinzip könnte man bei exakter<br />
Kenntnis <strong>der</strong> Führungsprofile die Führungsabweichungen<br />
korrigieren. In den meisten Fällen<br />
ist es jedoch ausreichend, die Einhaltung bestimmter<br />
Obergrenzen sicherzustellen [2].<br />
Mo<strong>der</strong>ne KMG mit Scanningeinrichtung<br />
können ebenfalls für Formmessungen eingesetzt<br />
werden. Es werden dann die gleichen Normale<br />
wie für Formmessgeräte zur Rückführung dieser<br />
Betriebsart verwendet.<br />
4.1.1 Vergrößerungsnormale<br />
Zu den Normalen mit gezielt verkörperter Formabweichung<br />
zählen unter an<strong>der</strong>em <strong>der</strong> Flick und<br />
das Mehrwellennormal. Beim Flick handelt es<br />
sich um einen zylindrischen Grundkörper mit<br />
Anschliff. Dadurch ergibt sich gegenüber dem<br />
Grundkreis eines axialen Zylin<strong>der</strong>schnitts eine<br />
Vertiefung, die <strong>als</strong> Maßverkörperung genutzt<br />
werden kann. Da dadurch die „Vergrößerung“<br />
d.h. die effektive Signalübertragungskette des<br />
Formmessgeräts kalibriert werden kann, wird<br />
<strong>der</strong> Flick zu den Vergrößerungsnormalen gezählt.<br />
Ein weiterer Vertreter dieser Klasse ist<br />
das Mehrwellennormal (Bild 4). Dieses verkörpert<br />
eine o<strong>der</strong> mehrere überlagerte räumliche<br />
harmonische Wellen. Während beim Flick <strong>der</strong><br />
Kennwert Rundheitsabweichung (RONt) ausgewertet<br />
wird, wird beim Mehrwellennormal die<br />
Höhe <strong>der</strong> Amplituden <strong>der</strong> verkörperten Wellen<br />
ausgewertet. Diese sind stabiler zu ermitteln <strong>als</strong><br />
die Formabweichung eines Flicks [3]. Zur An-