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Koordinatenmesstechnik als Schlüssel- technologie der - PTB

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<strong>PTB</strong>-Mitteilungen 117 (2007), Heft 4 Themenschwerpunkt • 355<br />

3 Herausfor<strong>der</strong>ung Genauigkeits-<br />

steigerung<br />

Eine beson<strong>der</strong>e Herausfor<strong>der</strong>ung für die <strong>PTB</strong><br />

besteht dabei darin, dass sie im Prinzip die<br />

gleichen KMG verwendet, die auch von den<br />

industriellen Anwen<strong>der</strong>n genutzt werden. Die<br />

zur Rückführung nötige Genauigkeitssteigerung<br />

<strong>der</strong> <strong>PTB</strong>-Messung muss daher durch beson<strong>der</strong>e<br />

Messverfahren, hochstabile Umgebungsbe-<br />

dingungen und geeignete Hard- und Softwareerweiterungen,<br />

wie etwa spezieller Auswertesoftware,<br />

erreicht werden.<br />

Die <strong>PTB</strong> verfügt zudem über ein hohes Maß<br />

an Kontinuität in <strong>der</strong> Messtechnik. So werden<br />

z.B. einige Messverfahren schon seit Jahrzehnten<br />

mit an<strong>der</strong>en Nationalen Metrologieinstituten<br />

(NMI) europa- und weltweit verglichen. So<br />

können langfristige Drifteffekte o<strong>der</strong> unbekannte<br />

systematische Abweichungen identifiziert<br />

werden. In letzter Zeit ist diese Zusammenarbeit<br />

durch den MRA („Mutual Recognition<br />

Agreement“) und die dadurch initiierten CIPM-<br />

<strong>Schlüssel</strong>vergleichsmessungen („Key Comparisons“)<br />

formalisiert worden.<br />

Bild 2:<br />

Messrohprofile eines Rundheitsnorm<strong>als</strong> ohne (links)<br />

und nach Anwendung eines Fehlertrennverfahrens<br />

(rechts)<br />

3.1 Selbstkalibrierverfahren<br />

Zu den Messverfahren mit erhöhter Genauigkeit<br />

zählen insbeson<strong>der</strong>e die Fehlertrenn- o<strong>der</strong><br />

Selbstkalibrierverfahren [1]. Ein Beispiel hierzu<br />

zeigt Bild 2. Durch die Anwendung des Fehlertrennverfahrens<br />

Mehrlagenmessung wurde<br />

Bild 3:<br />

Geradheitsmesslinien eines Zylin<strong>der</strong>s ohne (links) und<br />

nach Anwendung eines Umschlagverfahrens (rechts)<br />

<strong>der</strong> Spindelfehler eines Rundheitsmessgeräts<br />

vollständig eliminiert. Ein weiteres Beispiel zeigt<br />

Bild 3. Hier wurde bei <strong>der</strong> Kalibrierung eines<br />

Zylin<strong>der</strong>s durch ein Umschlagverfahren eine<br />

Parallelitätskorrektur <strong>der</strong> Geradheitsmesslinien<br />

durchgeführt.<br />

4 Rückführung von 1D-KMG<br />

4.1 Formmessgeräte<br />

Formmessgeräte dienen zum Messen von<br />

Formabweichungen wie Rundheit, Geradheit,<br />

Ebenheit und Zylindrizität sowie <strong>der</strong> Lageabweichung<br />

Parallelität. Formmessgeräte besitzen<br />

eine o<strong>der</strong> mehrere hochgenaue Messachsen. Die<br />

häufigste Klasse „Zylin<strong>der</strong>formmessgerät“ verfügt<br />

meistens über eine radiale R- o<strong>der</strong> X-Achse,<br />

eine Z-Achse sowie eine C-Achse, die durch einen<br />

Drehtisch o<strong>der</strong> eine Drehspindel verkörpert<br />

wird. Für ihre Rückführung ist die Einmessung<br />

<strong>der</strong> Signalübertragungskette vom Tastsystem bis<br />

zur Datenerfassung nötig. Dazu dient ein Normal<br />

mit einer signifikanten Formabweichung. Da<br />

die Drehachse bei allen Formmessgeräten die genaueste<br />

ist, wird dazu bevorzugt ein durch eine<br />

Rundheitsmessung erfassbares Normal gewählt.<br />

Weitere Normale sind notwendig, um die<br />

Führungsabweichungen des Formmessgeräts<br />

zu prüfen. Im Prinzip könnte man bei exakter<br />

Kenntnis <strong>der</strong> Führungsprofile die Führungsabweichungen<br />

korrigieren. In den meisten Fällen<br />

ist es jedoch ausreichend, die Einhaltung bestimmter<br />

Obergrenzen sicherzustellen [2].<br />

Mo<strong>der</strong>ne KMG mit Scanningeinrichtung<br />

können ebenfalls für Formmessungen eingesetzt<br />

werden. Es werden dann die gleichen Normale<br />

wie für Formmessgeräte zur Rückführung dieser<br />

Betriebsart verwendet.<br />

4.1.1 Vergrößerungsnormale<br />

Zu den Normalen mit gezielt verkörperter Formabweichung<br />

zählen unter an<strong>der</strong>em <strong>der</strong> Flick und<br />

das Mehrwellennormal. Beim Flick handelt es<br />

sich um einen zylindrischen Grundkörper mit<br />

Anschliff. Dadurch ergibt sich gegenüber dem<br />

Grundkreis eines axialen Zylin<strong>der</strong>schnitts eine<br />

Vertiefung, die <strong>als</strong> Maßverkörperung genutzt<br />

werden kann. Da dadurch die „Vergrößerung“<br />

d.h. die effektive Signalübertragungskette des<br />

Formmessgeräts kalibriert werden kann, wird<br />

<strong>der</strong> Flick zu den Vergrößerungsnormalen gezählt.<br />

Ein weiterer Vertreter dieser Klasse ist<br />

das Mehrwellennormal (Bild 4). Dieses verkörpert<br />

eine o<strong>der</strong> mehrere überlagerte räumliche<br />

harmonische Wellen. Während beim Flick <strong>der</strong><br />

Kennwert Rundheitsabweichung (RONt) ausgewertet<br />

wird, wird beim Mehrwellennormal die<br />

Höhe <strong>der</strong> Amplituden <strong>der</strong> verkörperten Wellen<br />

ausgewertet. Diese sind stabiler zu ermitteln <strong>als</strong><br />

die Formabweichung eines Flicks [3]. Zur An-

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