View/Open - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
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PEDOT:PSS in Crossbar-Strukturen 87<br />
auf einer Fläche von 5 x 5 μm simuliert. Unter Verwendung eines gröberen Netzes bei der<br />
Berechnung der Geometrie,wurden auch gröÿere Abmessungen simuliert (Kantenlängen<br />
10x10μm). Die Resultate waren deutlich unpräziser,zeigten jedoch qualitativ dasselbe<br />
Ergebnis. Dennoch ist es denkbar,dass bei realen Strukturen mit deutlich längeren Zuleitungen<br />
der Stromuss über die Zuleitungen einen spürbaren Beitrag zum Gesamtstrom<br />
liefert.<br />
Ein weiteres Problem der Simulation ist die Polymerschicht. Zur Simulation wurde lediglich<br />
die spezische Leitfähigkeit des Materials unter der Vorraussetzung vorgegeben,dass<br />
es sich um einen idealen ohmschen Leiter handelt. Somit werden Faktoren wie Temperatur<br />
und Luftfeuchtigkeit in der Simulation nicht berücksichtigt werden.<br />
6.2.2 PEDOT:PSS in PALO Crossbar Strukturen<br />
Die Verwendung von biologischen Molekülen in Crossbar-Strukturen bedarf einer Verbesserung<br />
der Grenzäche zwischen Metallelektrode und Molekül. PEDOT:PSS hat das Potential,diese<br />
Grenzäche zu bilden [33, 131, 34]. Zur Integration von PEDOT:PSS in PALO<br />
Crossbar-Strukturen wurden die in Abschnitt 5 vorgestellten Strukturen verwendet. Dazu<br />
wurden die Bottom-Elektroden vor dem Druckprozess mit PEDOT:PSS beschichtet. Dabei<br />
wurden die Protokolle aus Abschnitt 4.2 zur Rotationsbeschichtung benutzt. Der Polymer<br />
kann die Topographie der Bottom-Elektroden problemlos bedecken. In Abbildung 6.8 ist<br />
eine REM Aufnahme des Querschnitts von beschichteten Bottom-Elektroden gezeigt. Die<br />
Schichtdicke des PEDOT:PSS beträgt 55 nm,während die Leiterbahnen eine Schichtdicke<br />
von 40 nm aufweisen.<br />
Durch Drucken der Top-Elektroden werden Au-PEDOT:PSS-Au Brücken in den Kreu-<br />
A) B)<br />
200nm<br />
100nm<br />
Abbildung 6.8: A) Elektronenmikroskopische Aufnahmen einer Bruchkante von einer mit<br />
PEDOT:PSS beschichteten Bottom-Elektrode. B) Vergröÿerte Aufnahme<br />
des selben Ausschnitts. Der Polymer passt sich problemlos an die Korrugationen<br />
an.<br />
zungspunkten der Crossbar-Strukturen hergestellt. Ín Abbildung 6.9 sind Mikroskopbilder<br />
von Crossbar-Strukturen mit PEDOT:PSS gezeigt. Die unterschiedliche Farbe der Substrate<br />
ist durch unterschiedliche Schichtdicken des PEDOT:PSS bedingt. Es wurden keine<br />
Probleme bei der Haftung zwischen Top-Elektrode und Polymer festgestellt.<br />
Das PALO Layout der Elektroden beinhaltet Verlängerungen der Zuleitungen für die Top-<br />
Elektrode neben den Bottom-Elektroden. Mit überlappenden Kontaktpads werden diese