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Inhaltsverzeichnis Abkürzungen XIII 1 Einleitung 1 2 Grundlagen und Methoden 5 2.1 Theoretische Grundlangen ........................... 5 2.1.1 Elektrischer Ladungstransport ..................... 5 2.1.2 Leitfähige Polymere ........................... 10 2.2 Molekularelektronik ............................... 13 2.2.1 Selbstorganisierende Monolagen .................... 14 2.2.2 Die Tropfenelektrode .......................... 15 2.2.3Die Crossbar-Architektur ........................ 15 2.3Lithographie Techniken und Untersuchungsmethoden ............ 16 2.3.1 Konventionelle lithographische Verfahren ............... 16 2.3.2 Nanoimprint Lithographie ....................... 19 2.3.3 Ätzprozesse ............................... 23 2.3.4 Weiche Lithographie .......................... 25 2.3.5 Charakterisierungsmethoden ...................... 27 3 Materialien und Geräte 31 4 EGaIn-Eutektikum als Kontakt zu molekularen Monolagen 37 4.1 MEAs mit EGaIn Tropfenelektroden . . . .................. 37 4.1.1 Organische SAMs in EGaIn-MEA Brücken .............. 40 4.1.2 Oligopeptid SAMs in EGaIn-MEA Brücken ............. 47 4.2 PEDOT:PSS als exibles Interface ...................... 57 4.2.1 Morphologie von PEDOT:PSS ..................... 57 4.2.2 PEDOT in EGaIn-MEA Brücken . .................. 59 5 Sub-μm PALO Crossbar -Strukturen 63 5.1 Herstellung eines nanoimprint Molds für PALO Strukturen ......... 63 5.2 Bottom Elektroden ............................... 67 5.3TopElektroden ................................. 71 5.4 Der Druckprozess ................................ 73 5.5 Elektrische Charakterisierung . . ....................... 75 6 Crossbar -Strukturen basierend auf PEDOT:PSS 77 6.1 Elektrische Charakterisierung von PEDOT:PSS Dünnschichten ....... 77 6.2 PEDOT:PSS in Crossbar-Strukturen ..................... 83 6.2.1 Simulation einer Au-PEDOT:PSS-Au Brücke ............. 83 XI
XII Inhaltsverzeichnis 6.2.2 PEDOT:PSS in PALO Crossbar Strukturen ............. 87 7 Zusammenfassung und Diskussion 95 Literaturverzeichnis 101 Anhang 115 A Weitere Strukturierungsmöglichkeiten von PEDOT:PSS ........... 115 B Abbildungen ................................... 119 C Protokolle .................................... 124 Danksagung 129
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Anhang A Weitere Strukturierungsmö
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Abbildungen 121 Abbildung B8: Layou
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Protokolle 125 Ätzrezepte zum Troc
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Protokolle 127 Schutzschicht (posit
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