Epitaktische Eisenschichten auf Ag(001) - AG Wollschläger ...

2.8 Auger-Elektronen-Spektroskopie
trons, dessen Platz das EL1-Elektron (2s-Elektron) einnimmt. Vom EL2,3-Energieniveau
-Elektronen) aus wird das Auger-Elektron herausgelöst. Die Bezeichnungskon-
(2p 1
2
, 3
2
vention der Übergänge, hier KLL-Übergang, ist nach dieser Sprechweise strukturiert.
Der charakteristische Peak des untersuchten Substrats Silber liegt bei 351eV und ist ein
MNN-Übergang (siehe Spektrum 2.14). Das Adsorbat Eisen hat seinen charakteristischen
Peak bei 703eV. Dies ist ein LMM-Übergang. Eine Übersicht der elementspezifischen
Übergänge mit deren detektierbaren Energien in Abhängigkeit von der Ordnungszahl ist
in Abbildung 2.11 gezeigt.
Abbildung 2.10: Übersicht der elementspezifischen Sensitivitäten, (Grafik aus [4], bearbeitet
in [5])
Diese kinetische Energie der Auger-Elektronen kann dann am Analysator detektiert und
ein Spektrum aufgezeichnet werden. Sie ist aufgrund der Energiedifferenz des Übergangs
unabhängig von der Energie des primären Elektronenstrahls. Typische Beschleunigungsenergien
der Elektronenkanone sind 2000eV - 3000eV. Detektierbare kinetische Energien
der Auger-Elektronen am Analysator liegen bei 0eV < E < 2000eV [4]. Diese Energiebandbreite
begrenzt die mittlere freie Weglänge der Elektron (1 ˚ A- 100 ˚ A, vergleiche
Abbildung 2.12) und somit auch die Ausdringtiefe aus dem Material. Da die Primärenergie
des Elektronenstrahls beliebig größer sein kann, abgesehen von technischen Limitierungen,
dringen diese auch tiefer in die Materie ein, als Auger-Elektronen herausgelöst werden.
Die Intensitäten der gemessenen Signale sind abhängig von der Intensität der Elektronenkanone,
der Akzeptanz des Detektors, des elementspezifischen Anregungsquerschnitts, der
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