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Epitaktische Eisenschichten auf Ag(001) - AG Wollschläger ...

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Ergebnis des Fits:<br />

C 0, 00386 nm<br />

Hz<br />

5.3 Schichtdickenbestimmung aus Augerdaten<br />

Lage-für-Lage-Wachstum statistisch verteiltes Lagewachstum<br />

0, 00418 nm<br />

Hz<br />

Schichtdicke D bei f = 650Hz 2,509nm 2,717nm<br />

Abweichung 7,66 %<br />

Tabelle 2: Ergebnisse der Regression des Konzentrationsverhältnisses<br />

Wir erhalten mit den Fitparametern eine Schichtdicke D, die sich im Bereich 2, 509nm<br />

(Lage-für-Lage) < Dreal < 2, 717nm (statistisch) bewegt (Bedeckungsgrad: 8,74ML < θ <<br />

9,47ML). Dies entspricht einer Abweichung zwischen diesen beiden Modellen von ungefähr<br />

8%. In der Realität liegt die tatsächliche Schichtdicke zwischen diesen beiden ermittelten<br />

Werten, wobei die Tendenz wahrscheinlich zu einem statistisch verteiltem, anstatt zu einem<br />

geordnetem Lage-für-Lage-Wachstum geht. Dieses Phänomen wurde bereits durch<br />

STM-Aufnahmen von D. E. Bürgler [12] beobachtet, der sowohl bei Raumtemperatur<br />

als auch durch Nachtempern eine würfelförmige und clusterbildende Struktur feststellen<br />

konnte. Weitere STM-Untersuchungen von I. Dézsi [13] zeigten eine Korn- bzw. Clustergröße<br />

von 0,75nm bis 1,38nm bei einem Bedeckungsgrad von 2ML bis 6ML, was für ein<br />

statistisch verteiltes Wachstum bei uns spricht.<br />

Die ermittelten Konstanten C für den linearen Zusammenhang zwischen Aufdampfmenge<br />

[in Hz] und tatsächlicher Schichtdicke d sind hier beschränkt <strong>auf</strong> die experimentelle Anordnung,<br />

insbesondere Verdampfer- und Probenposition. Da die Aufdampfrate pro Fläche<br />

bzw. Bedeckungsrate mit 1<br />

r2 (r = Abstand zwischen Probe und Verdampfer) abnimmt,<br />

muss auch C bei variiertem Proben-Verdampfer-Abstand neu untersucht werden.<br />

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