Epitaktische Eisenschichten auf Ag(001) - AG Wollschläger ...

5 Messergebnisse und Auswertung
Der Fit der Exponentialfunktion läuft über lediglich einen freien Parameter a im Expontenten.
y = 1 − e −a·x
(5.2)
Die Interpolation liefert a = 0, 0052 1
Hz .
Die mögliche Detektionstiefe bzw. ” Sichtweite“ bei dieser Untersuchunsmethode der Schichtzusammensetzung
entspricht der, der Ausdringtiefe der Auger-Elektronen. Diese liegt im
Bereich weniger Nanometer.
Die Erstellung dieser Messreihe wurde mit konstanten Einstellungen an der Auger-
Steuereinheit vorgenommen: Spannung an der Elektronenkanone: U = 3kV, Filament:
I ≤ 1mA, Elektronenvervielfacher: U = 2, 6kV.
Abbildung 5.4: Auger-Spektrum bei einem Aufdampfmengenäquivalent von 150Hz
Die Auger-Spektren bzw. die Rohdaten, die dieser Schichtdickenbetrachtung zugrundeliegen,
sind in Abbildung 5.6 gezeigt. Man sieht deutlich ein abnehmendes Silber-Signal bei
E = 351eV, während der charakteristische Eisen-Peak bei E = 703eV dominierend wird.
Bei der Auswertung zur Schichtdickenbestimmung bzw. bei der Betrachtung des Intensitätenverhältnisses
der Auger-Peaks wurden deren Intensitäten ” per Hand“ ermittelt, um
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