Epitaktische Eisenschichten auf Ag(001) - AG Wollschläger ...
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2 Theorie und Grundlagen<br />
schlussfolgern.<br />
Das Verhältnis der Signalintensitäten gibt Aufschluss über den Bedeckungsgrad der <strong>auf</strong>gedampften<br />
Schicht. Hierzu berücksichtigt man die exponentielle Dämpfung der Intensität<br />
des einfallenden Primärstrahls gegenüber der der ausdringenden und detektierten Auger-<br />
Elektronen. Die Intensität des Primärstrahls ergibt sich in Abhängigkeit zur tatsichlich<br />
durchschrittenen Tiefe zu:<br />
I0(z) = I0 · e −α0·z<br />
mit 1<br />
α0 = λ0 = Eindringtiefe des Primärstrahls<br />
(2.31)<br />
Abbildung 2.13: Strahlenverl<strong>auf</strong> (in unserem Fall ist γ = 0 ◦ , d.h. zurückgelegter Weg des<br />
Strahls = z = Eindringtiefe) und Kennzeichnung der Wirkungsquerschnitte für unterschiedliche<br />
Materialien (σA/σB) sowie der elementspezifischen Ausdringtiefen (αB) beim<br />
Auger-Prozess<br />
Da der Auger-Prozess in unterschiedlich tiefen Schichten bestehend aus verschiedenen<br />
Materialien stattfindet, müssen noch weitere Berücksichtigungen gemacht werden. Spezifiziert<br />
werden muss, welche maximal mögliche Ausdringtiefe die entsprechend ausgelösten<br />
Auger-Elektronen besitzen. Hier ergeben sich für den ” Rückweg“ bzw. den Transport der<br />
Auger-Elektronen zur Oberfläche andere Ausdring- als Eindringtiefen. Desweiteren miteinbezogen<br />
werden muss der materialspezifische Wirkungsquerschnitt σA in Tiefe z, mit<br />
dem sowohl der Primärstrahl als auch die austretenden Auger-Elektronen wechselwirken.<br />
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