Epitaktische Eisenschichten auf Ag(001) - AG Wollschläger ...

4 Experimentelle Grundlagen
Energie an einem Suppressor herausgefiltert. Der Detektor selbst ist ein Elektronenvervielfacher
(channeltron), der das Messsignal erfasster Elektronen hier noch verstärkt. Der
PC zählt diese Messimpulse und verarbeitet sie mit den Programmen SPA4/SPA5.
4.5 Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES)
Das Auger-System besteht aus einer Auger-Optik, die, wie in Abbildung 4.1 zu sehen,
mit der Kammer verschraubt ist, und einer externen Auger-Elektronik, die die
Kontrolleinheit zur Steuerung der Elektronenkanone (electron gun control), des Elektronenvervielfachers
(electron multiplier supply) und des Analysators (Auger system control)
darstellt.
Abbildung 4.6: Aufbau einer Auger-Apparatur nach [10]. Gezeigt ist die Anordnung aus
Filament (Elektronenquelle), Probe (Beschussobjekt) und Analysator-Detektor-System.
Die blau-gestrichelt markierten Elektronenbahnen durch den Zylinder-Analysator (cylindrical
mirror analysator (CMA)) sind eingezeichnet für die Fälle: Kinetische Energie der
Elektronen zu groß (a), zu den Analysatorparametern passende Energie (b) und zu geringe
kinetische Energie (c). Die vergrößerte Ansicht (rechts) enthält den Aufbau der
elektrooptischen Fokussier- und Beschleunigungseinrichtung der Elektronenkanone. Grafik
entnommen aus [5]
Die Elektronenkanone fokussiert den Primärstrahl mit den Ablenk- und Fokussierelektroden
auf einen Durchmesser von d ≈ 0, 9mm und schickt ihn mit einer Stromstärke von
I ≤ 200µA auf die Probe. Dabei beträgt die eingestellte kinetische Energie der Elektronen
üblicherweise U = 2kV. Maximal kann die Beschleunigungsspannung jedoch U = 5kV betragen.
Um bei der Messung ein besseres Signal-zu-Rausch-Verhältnis zu erlangen, wird
das gemessene Spektrum differenziert und der verrauschte Untergrund schlägt weniger
ins Gewicht. Es können mit der Auger-Spektroskopie weitestgehend alle Elemente auf
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