Epitaktische Eisenschichten auf Ag(001) - AG Wollschläger ...
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4 Experimentelle Grundlagen<br />
4 Experimentelle Grundlagen<br />
Um dem Titel dieser Bachelorarbeit nach die Epitaxie (griech.: epi“ - <strong>auf</strong>“, über“ und<br />
” ” ”<br />
” taxis“ im Sinne von ” ordnen“ bzw. ausrichten“) von Eisen <strong>auf</strong> Silber(<strong>001</strong>) untersuchen zu<br />
”<br />
können, ist eine Verunreinigung der Substratoberfläche durch beispielsweise Restgasatome<br />
zu vermeiden. Aus diesem Grund werden die Experimente unter Ultrahochvakuum-<br />
Bedingungen (UHV: p ≈ 1 · 10−10 mbar) durchgeführt. Bei Raumtemperatur beträgt die<br />
Verunreinigungszeit der Oberfläche in diesem Druckbereich durch Bildung von ca. einer<br />
Monolage an Fremdatomen mehrere Stunden.<br />
Im folgenden Abschnitt wird die UHV-Apparatur mit ihren Peripheriegeräten wie Pumpensystem<br />
und Verdampfer näher erläutert. Ebenso finden hier die SPA-LEED- und Auger-Messanlage<br />
nähere Betrachtung.<br />
4.1 UHV-Kammer<br />
Die UHV-Apparatur (Abb. 4.1) ist grob gesehen ein Zylinder aus Edelstahl mit mehreren<br />
Anschluss- und Durchführungsmöglichkeiten. Die für diese Arbeit relevanten, angeschlossenen<br />
Geräte sind:<br />
• Turbomolekularpumpe mit vorgeschalteter Drehschieberpumpe zur Erzeugung des<br />
Vakuums<br />
• Ionen-Getter-Pumpe mit integriertem Titansublimator unterstützend zum mechanischen<br />
Pumpensystem<br />
• Sputterkanone zur Säuberung des Substrats<br />
• Massenspektrometer zur Restgasanalyse<br />
• Eisenverdampfer zum Aufbringen des Adsorbats<br />
• Auger-Elektronenspektrometer zur Analyse der chemischen Zusammensetzung der<br />
Oberfläche<br />
• SPA-LEED-Optik zur Analyse der Morphologie der <strong>auf</strong>gewachsenen Schichten<br />
Die Anordnung der einzelnen Instrumente ist in einem horizontalen Querschnitt im Schema<br />
4.3 skizziert.<br />
Die Positionierung der Probe bzw. des Probenhalters im Rezipienten erfolgt über den<br />
Manipulator, der von oben <strong>auf</strong> die Kammer <strong>auf</strong>gesetzt ist (siehe Abb. 4.1). Der ca. 1,5m<br />
lange Justagestab des Manipulators ist in einem Sockel fixiert, welcher sich über Verstellschrauben<br />
in X- und Y-Raumrichtung verkippen lässt. Eine Handkurbel verstellt den<br />
Z-Hub. Zusätzlich kann der Probenhalter am Justagestab mit einem Handrad entlang der<br />
Stabachse um 360 ◦ in horizontaler Ebene verdreht werden. Ein Seilzug neigt den Probenhalter<br />
entlang einer horizontalen Achse. Dies ergibt zusammen fünf Freiheitsgrade. Die<br />
Neigung, die der Probenhalter nach verkippen in X- oder Y-Richtung durch die unterschiedlichen<br />
Stellungen des Justagestabs eingenommen hat, muss nachträglich mit den<br />
beiden Winkelverstellern korrigiert werden.<br />
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