20.01.2015 Views

2003/2004 - Teknisk-naturvetenskapliga fakulteten - Uppsala ...

2003/2004 - Teknisk-naturvetenskapliga fakulteten - Uppsala ...

2003/2004 - Teknisk-naturvetenskapliga fakulteten - Uppsala ...

SHOW MORE
SHOW LESS

Create successful ePaper yourself

Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.

UPPSALA UNIVERSITET STUDIEHANDBOK <strong>2003</strong>/04<br />

<strong>Uppsala</strong> tekniska högskola<br />

Civilingenjörsprogrammen<br />

Kursplaner<br />

Mikrostrukturteknik, 3 poäng<br />

Micro structure technology<br />

1TM541<br />

Kursplanen är fastställd 1994-05-18 av <strong>Teknisk</strong>-<strong>naturvetenskapliga</strong> fakultetsnämnden och<br />

senast reviderad 2002-04-23 av teknisk- <strong>naturvetenskapliga</strong> fakultetsnämnden<br />

Kursens placering i utbildningsprogram Kursen ges inom Civilingenjörsprogrammen<br />

Studieperiod: Kursen ges i Period K och Q 41, F 34<br />

Mål för utbildningen<br />

Att ge kunskaper om mikrostrukturteknikens tillverkningsmetoder och användningsområden.<br />

Kursens innehåll<br />

Materialkunskap på mikronivå om kisel, kvarts, III-V-halvledare. Grundtekniker såsom<br />

litografi, depositionsmetoder, anisotrop och isotrop våtetsning, dopningsselektiv etsning,<br />

torretsning, bondning, ytmikrotillverkning och mikroreplikering. Mättekniker. Applikationer<br />

inom sensorer, aktuatorer och integrerade mikrosystem.<br />

Laborationer:<br />

Tillverkning av mikromekanisk komponent.<br />

Våtetsning i kisel (2 dagar).<br />

Särskild behörighet<br />

Halvledarfysik eller Fysikalisk elektronik eller Fasta tillståndets fysik eller Materialfysik eller<br />

Kvantmekanik fk.<br />

Undervisningsform<br />

Föreläsningar, och laborationer.<br />

Examinationsform<br />

Skriftlig och/eller muntlig tentamen vid kursens slut. För godkännande fordras även godkänd<br />

laborationskurs.<br />

Betyg: Något av betygen underkänd (U), godkänd (3), icke utan beröm godkänd (4) och med<br />

beröm godkänd (5)<br />

Kurslitteratur<br />

Kompendier<br />

Nivå: Kursen ges på C-nivå<br />

Ämne: Kursen ges inom huvudämnet Teknik<br />

Kursansvarig institution<br />

Institutionen för teknikvetenskaper<br />

337

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!