20.01.2015 Views

2003/2004 - Teknisk-naturvetenskapliga fakulteten - Uppsala ...

2003/2004 - Teknisk-naturvetenskapliga fakulteten - Uppsala ...

2003/2004 - Teknisk-naturvetenskapliga fakulteten - Uppsala ...

SHOW MORE
SHOW LESS

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

UPPSALA UNIVERSITET STUDIEHANDBOK <strong>2003</strong>/04<br />

<strong>Uppsala</strong> tekniska högskola<br />

Civilingenjörsprogrammen<br />

Kursplaner<br />

Mikrostrukturteknik II, 3 poäng<br />

Micro structural technology II<br />

1TM542<br />

Kursplanen är fastställd 2002-04-24 av teknisk- <strong>naturvetenskapliga</strong> fakultetsnämnden och<br />

senast reviderad 2002-04-24<br />

Kursens placering i utbildningsprogram<br />

Kursen ges inom Civilingenjörsprogrammen<br />

Studieperiod: Kursen ges i Period K och Q 42<br />

Mål för utbildningen<br />

Mikrostrukturteknik II är en fortsättningskurs inom området som ska ge ökad kompetens att<br />

arbeta i eller med företag som tillverkar mikrostrukturer. Kursen ger kunskap om de material,<br />

utöver kisel, och de metoder för design och tillverkning som används inom området.<br />

Kursens innehåll<br />

Tillverkning av mikrostrukturer utöver kvarts och kiselbaserad mikrostrukturer: bl.a.<br />

strukturering i glas, LIGA (en litografi-teknik), elektroplätering, polymer replikering,<br />

framställning av analoga mikrostrukturer, användning av kisel som formmaterial.<br />

Grundläggande kunskaper i datorbaserad design av mikrostrukturer. Klassificering av<br />

sensorer och sensormodeller, överblick över sensorers användningsområden. Förståelse för de<br />

praktiska aspekterna i renrumsarbete.<br />

Laboration: Framställning av polymerbaserade mikrostrukturer<br />

Särskild behörighet Mikrostrukturteknik eller Processteknik för mikrostrukturer. Någon av<br />

kurserna Halvledarfysik, Fysikalisk elektronik, Fasta tillståndets fysik I, Materialfysik eller<br />

Kvantfysik fk.<br />

Undervisningsform<br />

Föreläsningar, lektioner och laborationer.<br />

Examinationsform<br />

Skriftlig tentamen vid kursens slut. Godkända laborationer och rapporter.<br />

Betyg: Något av underkänd (U), godkänd (3), icke utan beröm godkänd (4) eller med beröm<br />

godkänd (5).<br />

Kurslitteratur<br />

Kompendium: Marc Madou, Fundamentals of Microfabrication: The Science of<br />

Miniaturization, Second Edition<br />

Nivå: Kursen ges på D-nivå<br />

Ämne: Kursen ges inom huvudämnet Teknik<br />

Kursansvarig institution<br />

Institutionen för teknikvetenskaper<br />

338

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!