Proceedings - Viện Vật lý

_________________________________________________________________________________Những tiến bộ trong Quang học, Quang tử, Quang phổ và Ứng dụng. 8/2006, Cần Thơ, Việt Nam(a)(b)(c)(d)(e)(e)(g)Hình 1. Phổ nhiễu xạ của các mẫu S1_450 (a); S1_500 (b); S1_700 (c);S2_450 (d); S2_500 (e); S2_600 (f) và S2_800 (g)Với các màng có kích thước hạt lớn, trên ảnh SEM chúng ta còn dễ dàng quan sátđược các đĩa hình lục giác (các tinh thể ZnO có trục c vuông góc với đế). Như vậy,có thể khẳng định rằng các màng được chế tạo có cấu trúc tinh thể rất tốt. Và kíchthước hạt tăng khi nhiệt độ ủ mẫu tăng.Bảng 2. Kích thước hạt trung bình của các màng ZnO ủ tại các nhiệt độ khác nhau.Kí hiệu mẫu S1_450 S1_500* S2_450 S2_600 S2_800Kích thước hạttrung bình (nm)3.3. Kết quả phổ huỳnh quang.15 25 15 50 70Hình 3 là phổ huỳnh quang đo ở nhiệt độ phòng của các màng ZnO có kíchthước hạt khác nhau. Phổ huỳnh quang của các màng ZnO ở nhiệt độ phòng baogồm: dải có năng lượng khoảng 3,28 eV là đóng góp của các chuyển dời D 0 X ( táihợp của exciton liên kết với donor trung hoà); XX (tái hợp của biexciton) và P (táihợp của polariton – tán xạ không đàn hồi exciton - exciton) [1, 2, 3]; dải phổ tại96