Proceedings - Viện Vật lý

_________________________________________________________________________________Những tiến bộ trong Quang học, Quang tử, Quang phổ và Ứng dụng. 8/2006, Cần Thơ, Việt NamdeHình 4: Bề mặt mẫu làm các tỷ lệ Precusor : C 2 H 5 OH : H 2 O là:Mẫu làm từ MTEOS: a - 1 : 2 : 2 trải sau 0,5 ngày, dày 3,68 µmb - 1 : 2 : 2 trải sau 1,5 ngày, dày 5,80 µmc - 1 : 2 : 2 trải sau 2,5 ngày, dày 7,08 µmMẫu làm từ PhTEOS: d - 1 : 4 : 3 trải sau 8 ngày, dày 2,25 µme - 1 : 4 : 3 trải sau 13 ngày, dày 2,70 µmLượng amin quá cao sẽ khó điều khiển được độ dầy và bề mặt màng. Mẫu làmtừ PhTEOS cũng cho thấy màng làm với tốc độ thủy phân trung bình và thời điểmtrải màng thích hợp sẽ cho bề mặt mịn. Thời gian từ lúc cho bazơ tới khi trải màngquyết định độ nhớt của dung dịch trải màng là một yếu tố quan trọng ảnh hưởng lớnđến bề mặt (độ mấp mô) - chất lượng dẫn sóng của màng, do đó phải lựa chọn thờiđiểm thích hợp để trải màng. Đây là một vấn đề cần được nghiên cứu định lượng kỹcàng hơn. Chúng tôi đã xác định được quy trình chế tạo màng thích hợp với tốc độthủy phân và ngưng tụ trung bình, tỉ lệ cụ thể là MTEOS : C 2 H 5 OH : H 2 O : bazơ =1 : 2 : 2 : 0,02 (mol) với thời gian trải màng sau 0,5 ngày và vận tốc 1000v/p.Chiết suất của màng đã chế tạo được xác định đối với màng MTEOS là n=1,43và của màng PhTEOS là n=1,55 đúng với các giá trị đã được công bố [2].Bảng 1: Thành phần dung dịch và các thông số của màng MTEOS và PhTEOSMTEOS C 2 H 5 OH H 2 O Bazơ Trải màng Độ dầy Độ mấpĐánh giá bề mặt(mol) (mol) (mol) (mol) sau (ngày) (µm) mô (nm)3 4,69 1,43 xấu, nhiều hạt1 2 1,5 0,0155 4,83 1,43 xấu, nhiều hạtxấu, khuyết tật tụ1 2 1,5 0,02 3,5 4,72đám1 2 1,5 0,025 1 5,59 xấu, nhiều hạt0,5 3,68 1,56 mịn, rất ít hạt1 2 2 0,02 1,5 5,80 mấp mô nhỏ, ít hạt2,5 7,08 mấp mô lớn, ít hạt0,5 3,71 1,88 mịn, nhiều hạt1 2 2 0,0252 8,41 độ mấp mô lớn1 3 1,5 0,02 11 2,81 xấu, nhiều hạt1 3 2 0,015 11 1,56 Xấu, nhiều hạt0.5 Xấu, nhiều hạt4 Xấu, nhiều đám1 4 3 0.028 2,25 0,83 Mịn, rất ít hạt13 2,70 1,18 Mịn, rất ít hạt0,5 Xấu, nhiều hạt1 4 2 0.024 Xấu, nhiều hạt162