Proceedings - Viện Vật lý

_________________________________________________________________________________Những tiến bộ trong Quang học, Quang tử, Quang phổ và Ứng dụng. 8/2006, Cần Thơ, Việt Nam3. Kết quả và bàn luận3.1 Xác định cấu trúc và các thông số của màngHình 1: Phổ XRD của màng SnO 2 được phún xạ trên đế ở nhiệt độ phòng.Từ phổ nhiễu xạ tia X (hình 1) cho thấy một đặc trưng khá lý thú của vật liệumàng SnO 2 được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron là mặc dù đượclắng đọng trên đế thủy tinh có nhiệt độ ban đầu rất thấp (nhiệt độ phòng) nhưngmàng vẫn cho cấu trúc tinh thể định hướng khá tốt theo các mặt mạng (100) và(110) như trên. Điều này cũng phù hợp với công trình [4] và có thể giải thích donhiệt nóng chảy của kim loại Sn thấp.5 6Hình 2: phổ truyền qua của các mẫu 5 và 6.Từ phổ truyền qua (hình 2) cho thấy độ truyền qua trung bình của các màng đềutrên 75%. Kết hợp với phương pháp tính toán Swanepoel, công trình này xác địnhđược độ dày màng, chiết suất và độ truyền qua của màng ở bước sóng 550nm. Cácthông số tạo màng và các kết quả tính toán tương ứng được trình bày trên bảng 1.3.2 Xác định điện trở suất của màngMàng sau khi được chế tạo cũng được khảo sát điện trở mặt bằng phương phápbốn mũi dò [2] từ đó suy ra điện trở suất của màng. Kết quả tính toán các giá trịđiện trở mặt và điện trở suất được trình bày trên bảng 2.80