Proceedings - Viện Vật lý

XRD intensity (arb. units)_________________________________________________________________________________Những tiến bộ trong Quang học, Quang tử, Quang phổ và Ứng dụng. 8/2006, Cần Thơ, Việt Nam3. Kết quả và thảo luậnCấu trúc tinh thể của ZnO cấu trúc nano được xác định qua giản đồ nhiễu xạ tiaX. Hình 2 là giản đồ nhiễu xạ tia X của mẫu ZnO được ủ ở 500 0 C trong thời gian 60phút. Phổ nhiễu xạ tia X cho thấy các tinh thể ZnO đã được hình thành và kết tinhhoàn toàn. Ngoài các vạch nhiễu xạ rõ ràng đã được chỉ rõ như (0002), (0004) và(0006) là các vạch chuẩn của ZnO, ta không tìm thấy vạch nhiễu xạ khác chứng tỏmẫu được chế tạo với độ sạch cao.10 510 410 310 234.39ZnO(0002)69.13Si(100)125.1572.53 ZnO(0006)ZnO(0004)10 120 40 60 80 100 1202(deg.)Hình 2: Giản đồ nhiễu xạ tia X của mẫu vật liệu ZnO cấu trúcnano được nuôi ở 500 0 C trong 1 giờ bằng hệ MOCVDTrên hình 3a và 3b trình bày ảnh hiển vi điện tử quét với độ phân giải cao (FE-SEM) của mẫu ZnO nuôi 500 0 C trong thời gian 1giờ (hình2.1) và ZnO nuôi ở500 0 C trong thời gian 2 giờ sau đó tiếp tục phủ Mg trong 10 phút (hình 2.2). Thôngqua ảnh FE-SEM trên hình 3a cho thấy các cột ZnO có cấu trúc nano đã được chếtạo với sự định hướng rất cao có độ đồng nhất rất về đường kính các cột (40nm) vàđộ dài của các cột trên đế, các cột nano ZnO này có đỉnh rất nhọn. Với mẫu ZnOnuôi ở thời gian 2 giờ sau đó tiếp tục phủ Mg lên thì đỉnh của cột không còn nhọnnữa mà rất phẳng, tiết diện của cột có hình lục giác đều, các cột này định hướng 1chiều rõ rệt trên đế nuôi, đồng nhất cao về đường kính (71nm) và độ dài của cột.Hình 3a: Ảnh hiển vi điện tử quét với độphân giải cao của mẫu ZnO được nuôi ở500 0 C trong 1 giờHình 3b: Ảnh hiển vi điện tử quét với độphân giải cao của mẫu ZnO được nuôi ở500 0 C trong 2 giờ, phủ Mg trong 10 phút.102