Proceedings - Viện Vật lý

_________________________________________________________________________________Những tiến bộ trong Quang học, Quang tử, Quang phổ và Ứng dụng. 8/2006, Cần Thơ, Việt Namdạng hình cầu, kích thước vào khoảng 25 nm (hình 1).Đường cong phân tích nhiệt gel ZnO:Al (hình 2) cho thấy khoảng nhiệt độ 79 0 Ccó hiệu ứng thu nhiệt do dung môi bị bay hơi làm cho khối lượng giảm khoảng89%.3.2. Phân tích cấu trúc(a(a)Hình 3. Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng ZnO:Al phún xạ (a) và phun tĩnh điện (b)Giản đồ nhiễu xạ tia X của màng phún xạ (hình 3a) cho thấy màng có cấu trúclục giác Wurtzite, các đỉnh nhiễu xạ (100), (002), (101) trùng với các đỉnh của đatinh thể ZnO. Nồng độ Al trong màng tăng lên, cường độ của đỉnh nhiễu xạ (002)tăng lên rõ rệt. Sự định hướng ưu tiên có thể do năng lượng liên kết bề mặt theohướng (002) là nhỏ nhất nên các biên hạt sẽ ưu tiên phát triển theo hướng này. Sựthay thế của Al vào vị trí Zn không làm thay đổi cấu trúc tinh thể của màng mà chỉgây ra một sự thay đổi nhỏ của hằng số mạng.Màng ZnO:Al sau khi phun được ủ nhiệt. Ở nhiệt độ 350 0 C màng chưa kết tinh,giản đồ nhiễu xạ chưa xuất hiện đỉnh nhiễu xạ nào. Khi ủ ở nhiệt độ 450 0 C, các đỉnhnhiễu xạ (100), (002), (101) trùng với các đỉnh của ZnO đã xuất hiện (hình 3b). Sovới các đỉnh nhiễu xạ tương ứng của màng chế tạo bằng phún xạ thì cường độ củacác đỉnh yếu hơn, độ rộng vạch phổ lớn hơn và đỉnh (200) không thể hiện địnhhướng ưu tiên. Như vậy, màng phún xạ kết tinh tinh thể tốt hơn, định hướng ưu tiênrõ rệt theo phương (002) và kích thước các hạt trong màng lớn hơn so với màng chếtạo bằng phương pháp phun điện.3.3. Khảo sát trạng thái bề mặt của màngBề mặt màng chế tạo bằng phún xạ (6% Al) tương đối mịn với các hạt hình cầuphân bố đều. Nồng độ tạp chất nhôm trong màng tăng từ 0 – 6% thì kích thước hạtlại giảm. Chiều dày màng 737, 577, 489, 399 nm tương ứng với các màng có nồngđộ Al 0%, 2%, 4% và 6%. Màng chế tạo bằng phương pháp phun tĩnh điện (5% Al)mặc dù hạt sol trong dung dịch phun có kích thước nhỏ (khoảng 25 nm) song kíchthước của các hạt liên kết tạo thành màng lại lớn (~ 100 nm) và không đồng đều.(b)76