Proceedings - Viện Vật lý

Advances _________________________________________________________________________________in Optics, Photonics, Spectroscopy and Applications. Aug. 2006, Cantho, VietnamBảng 1 : Các thông số tạo màng SnO 2 và kết quả tính toán độ dày và chiết suất n, d.Mẫu U (V) t(s) T(%) n d (nm)1 320 60 86,9697 1,85 3652 320 90 75,9516 1,82 5603 310 60 80,2416 1,85 2504 300 120 70,0725 1,88 4625 290 130 72,6283 1,79 3986 280 220 75,7708 1,89 618Bảng 2 : Bảng kết quả tính toán tốc độ lắng đọng màng C; điện trở suất ; chiết suất n; độdày d; điện trở mặt RMẫu C(nm/s) (.cm) n d(nm) R(/)1 6,1 4.1 10 -2 1.85 365 11232 6.2 2.2 10 -2 1.82 560 3943 4.2 7.3 10 -2 1.85 250 29174 3.9 8.5 10 -2 1.88 462 18355 3.1 39.1 10 -2 1.79 398 98126 2.9 66.9 10 -2 1.89 618 10816Từ kết quả trên bảng 2 cho thấy màng SnO 2 được phún xạ ở tốc độ thấp(khoảng 3nm/s) cho độ dẫn điện kém và thực nghiệm của công trình này cũng chothấy độ truyền qua của màng khá cao (khoảng gần 90%). Khi tốc độ phún xạ caohơn (khoảng 4÷6nm/s) điện trở suất của màng giảm đáng kể. Tuy nhiên nếu tăngtốc độ phún xạ bằng cách tăng dòng phún xạ hoặc giảm tỷ lệ áp suất riêng phần củaoxy thì thực nghiệm của công trình này cho thấy màng cho độ truyền qua kém vàdiện trở suất của màng tăng mạnh, thậm chí màng không dẫn điện.Điều này có thể giải thích do ảnh hưởng của sự thiếu hụt oxy trong cấu trúcmàng. Khi tốc độ phún xạ thấp phản ứng tạo SnO 2 trên đế tạo ra ít vị trí khuyết oxynên màng có độ dẫn điện kém và thậm chí không dẫn điện. Tuy nhiên nếu tăng tốcđộ phún xạ quá cao hoặc áp suất riêng phần oxy thấp thì sự thiếu hụt lớn oxy sẽ tạopha SnO (có màu đen). Màng trở nên “đậm màu” hơn và độ dẫn điện cũng giảm rấtnhanh theo độ truyền qua.Ngoài ra công trình này cũng tiến hành chế tạo màng SnO 2 :Sb bằng phươngpháp phún xạ magnetron phản ứng từ bia hợp kim với tỷ lệ 95% khối lượng Sn và5% khối lượng Sb. Kết quả thu được cho trên bảng 3.81