PDF 3.142kB - TOBIAS-lib - Universität Tübingen
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4.6. RAMANSPEKTROSKOPIE 91<br />
Beim EDX-Verfahren wird die zu untersuchende Probe mit einem Elektronenstrahl (sehr fein<br />
gebündelter Strahl energiereicher Elektronen, typischerweise 10 - 30 keV angeregt. Dabei ist man<br />
bemüht durch immer feinere Strukturen und Schichten, die Anregungsenergien möglichst weit zu<br />
senken. Die Vielzahl an Linienüberlagerungen und die unzureichende Kenntnis der<br />
Intensitätsverhältnisse der weichen Röntgenlinien (E