Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von ...
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6.4. Zusammenfassung 135<br />
<strong>von</strong> den Materialeigenschaften der ZnO:Al-Schichten bestimmt und ist unabhängig vom gewählten<br />
Ätzmedium. Die Unterschiede in den Materialeigenschaften, die zu dem verschiedenen Ätzverhalten<br />
führen, sind mit anderen, bisher eingesetzten Charakterisierungsmethoden nicht sichtbar.<br />
Die Form der in Salzsäure auf der Oberfläche der polykristallinen ZnO:Al-Schichten entstehenden<br />
Krater steht vermutlich in direktem Zusammenhang zu den streng hexagonalen Kratern<br />
bei geätzten Einkristallen. Es wurden verschiedene Argumente für und gegen die Beeinflussung<br />
<strong>des</strong> Ätzverhaltens durch die Oberflächenterminierung der ZnO:Al-Schichten angegeben. Weitere<br />
<strong>Untersuchung</strong>en sind notwendig, um einerseits die Oberflächenterminierung zu bestimmen und<br />
andererseits die besondere Struktur der Angriffspunkte zu identifizieren
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