Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von ...
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Abkürzungen<br />
Kürzel Bedeutung<br />
Al Aluminium<br />
Al2O3<br />
Aluminiumoxid<br />
AM1,5 Sonnenspektrum nach Durchlaufen <strong>von</strong> 1,5 Erdatmosphären (siehe S. 61)<br />
a-Si:H Amorphes hydrogenisiertes Silizium<br />
at% Atomprozent<br />
DC Gleichstrom<br />
(hkl) Millerindizes der Kristallebenen und der zugehörigen XRD-Peaks<br />
FWHM Halbwertsbreite (full width at half maximum)<br />
FZJ Forschungszentrum Jülich GmbH in der Helmholtz-Gemeinschaft<br />
IPV Institut für Photovoltaik<br />
µc-Si:H Mikrokristallines hydrogenisiertes Silizium<br />
MF Mittelfrequenz (hier 40 kHz)<br />
NIR Nahes Infrarot (hier in der Bedeutung 800-1100 nm)<br />
O2<br />
Sauerstoff<br />
PECVD Plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung<br />
PEM Plasma-Emission-Monitor oder normierte Plasma-Emissions-Intensität<br />
QE Quantenwirkungsgrad (quantum efficiency)<br />
REM Raster-Elektronen-Mikroskop<br />
RF Radiofrequenz (13,56 MHz)<br />
Si Silizium<br />
SIMS Sekundärionen-Massenspektrometrie<br />
SnO2<br />
Zinndioxid<br />
TCO Transparentes, leitfähiges Metalloxid (Transparent Conductive Oxide)<br />
UV Ultravioletter Spektralbereich<br />
VIS Sichtbarer Spektralbereich (400-800 nm)<br />
XRD Röntgenbeugung<br />
Zn Zink<br />
Zn:Al Zink-Aluminium-Legierung<br />
ZnO Zinkoxid<br />
ZnO:Al Aluminiumdotiertes Zinkoxid<br />
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