Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von ...

Danksagung
Ich danke allen, die durch ihre Unterstützung zum Gelingen dieser Arbeit beigetragen haben.
Besonders möchte ich mich bedanken bei:
• Herrn Prof. Dr. Matthias Wuttig für die Betreuung und Begutachtung der Arbeit, sein
großes Interesse an der Thematik, viele hilfreiche Anregungen und Diskussionen sowie
für die Möglichkeit, XRD-Messungen an seinem Institut durchführen zu dürfen,
• Herrn Prof. Dr. Thomas Michely für sein Interesse an der Arbeit und die Übernahme des
Zweitgutachtens,
• Herrn Dr. Beyer, dem kommissarischen Institutsleiter, für die Möglichkeit, die Experimente
am IPV durchzuführen,
• Herrn Dr. Bernd Rech für die intensive und motivierende Vor-Ort-Betreuung im IPV, sein
unermüdliches Engagement, seine stetige Diskussionsbereitschaft und die vielen konstruktiven
Anregungen,
• den Herren Dr. Oliver Kluth, Dr. Joachim Müller und Florian Ruske sowie Frau Dr. Chitra
Agashe für viele interessante und fruchtbare Diskussionen und für die Durchsicht der
Arbeit,
• Hilde Siekmann und Wolfgang Appenzeller für die technische Unterstützung und die Betreuung
der Depositionsanlagen, ohne die die Experimente nicht möglich gewesen wären,
• Sonya Calnan und Gunnar Schöpe für die Unterstützung bei den Experimenten durch die
Übernahme von Depositionen und Messungen,
• Dr. Tobias Repmann, Joachim Kirchhoff und Brigitte Sehrbrock für die Präparation der
Solarzellen und -module,
• Dr. Helmut Stiebig für die Hilfestellung bei der optischen Charakterisierung der ZnO:Al-
Schichten,
• Franz Birmans, Wilfried Reetz und Christoph Zahren für die Hilfe bei der Charakterisierung
der Solarzellen,