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Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von ...

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62 3. Experimentelles<br />

ein Ladungsträgerpaar erzeugt und dieses dann zum Photostrom beiträgt. Zur Bestimmung <strong>des</strong><br />

Quantenwirkungsgra<strong>des</strong> wird das DSR-Verfahren (Differential Spectral Response) benutzt. Dabei<br />

misst man die Änderung in der Stromdichte durch eine kleine modulierte, monochromatische<br />

Lichtanregung unter Kurzschlussbedingungen oder bei einer extern angelegten Spannung bei einer<br />

definierten Temperatur (25 ◦ C). Der Aufbau eines DSR-Messplatzes und das Messverfahren<br />

werden in Metzdorf (1987) und Wittchen et al. (1988) beschrieben.<br />

Der relative Fehler der Messung beläuft sich auf weniger als 2 % für den Vergleich verschiedener<br />

Proben innerhalb dieser Arbeit. Der Fehler einer kalibrierten Referenzprobe <strong>von</strong> etwa 3 %<br />

muss für den Vergleich mit Messungen anderer Labors zusätzlich berücksichtigt werden.

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