06.05.2013 Views

26 - Secretaría General - Universidad Autónoma de Baja California

26 - Secretaría General - Universidad Autónoma de Baja California

26 - Secretaría General - Universidad Autónoma de Baja California

SHOW MORE
SHOW LESS

Create successful ePaper yourself

Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.

Unidad <strong>de</strong> Aprendizaje: Procesos <strong>de</strong> Películas Delgadas Etapa Terminal<br />

Área <strong>de</strong> Conocimiento: Ingeniería Aplicada<br />

Competencia:<br />

Evaluar los diferentes procesos <strong>de</strong> películas <strong>de</strong>lgadas mediante la aplicación <strong>de</strong> principios<br />

físicos y químicos para la fabricación <strong>de</strong> estructuras en dispositivos semiconductores con<br />

una actitud responsable<br />

Carga Académica<br />

Clave HC HL HT HPC HE CR Requisito<br />

3 0 1 3 7<br />

Contenido Temático<br />

1. Tecnología <strong>de</strong> películas <strong>de</strong>lgadas<br />

2. Evaporación física<br />

3. Deposición<br />

4. Epitaxia<br />

5. Deposición por vapor químico<br />

6. Deposición por haz <strong>de</strong> electrones<br />

7. Deposición por plasma<br />

Evi<strong>de</strong>ncia <strong>de</strong> <strong>de</strong>sempeño:<br />

Elaborar reportes sobre técnicas <strong>de</strong> <strong>de</strong>posición <strong>de</strong> películas <strong>de</strong>lgadas enfatizando sus<br />

aplicaciones para las tecnologías MOS, Bipolar y RF<br />

Bibliografía<br />

Básica<br />

Smith Donald L. Thin Film Deposition: Principles and Practices, McGraw Hill, 1991<br />

Complementaria<br />

Kern Werner, Vossen John L. Thin Film Processes, Volume II, Aca<strong>de</strong>mic Press, 1991<br />

Ohring Milton, The Materials Science of Thin Film, Aca<strong>de</strong>mic Press, 2001<br />

Propuesta: Ingeniero en Semiconductores y Microelectrónica 125

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!