06.05.2013 Views

26 - Secretaría General - Universidad Autónoma de Baja California

26 - Secretaría General - Universidad Autónoma de Baja California

26 - Secretaría General - Universidad Autónoma de Baja California

SHOW MORE
SHOW LESS

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

Unidad <strong>de</strong> Aprendizaje: Microlitografía Etapa Terminal<br />

Área <strong>de</strong> Conocimiento: Ingeniería Aplicada<br />

Competencia: Evaluar las diferentes secciones <strong>de</strong>l proceso <strong>de</strong> microlitografía mediante la<br />

aplicación <strong>de</strong> principios <strong>de</strong> la óptica y química para la fabricación <strong>de</strong> estructuras<br />

microscópicas en circuitos integrados con una actitud creativa.<br />

Carga Académica<br />

Clave HC HL HT HPC HE CR Requisito<br />

3 0 1 3 7<br />

Contenido Temático<br />

1. Fuentes <strong>de</strong> iluminación<br />

2. Parámetros <strong>de</strong> los lentes<br />

3. Evaluación <strong>de</strong> imágenes<br />

4. Mascaras <strong>de</strong> cambio <strong>de</strong> fase<br />

5. Interacciones <strong>de</strong> la fotorresina<br />

Evi<strong>de</strong>ncia <strong>de</strong> <strong>de</strong>sempeño:<br />

Elaborar reportes sobre técnicas <strong>de</strong> microlitografía <strong>de</strong>stacando su importancia en la<br />

miniaturización <strong>de</strong> dispositivos semiconductores.<br />

Bibliografía<br />

Básica<br />

Susuki Kazuaki, Smith Bruce W. Microlithography: Science and Technology, Second Edtion, CRC, Mayo<br />

2007<br />

Complementaria<br />

Levinson Harry J. Principles of Lithography, Second Edition, SPIE publications, 2005<br />

Propuesta: Ingeniero en Semiconductores y Microelectrónica 130

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!