Modulhandbuch Studiengang Applied Life Sciences - FHInfo ...
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<strong>Modulhandbuch</strong> - <strong>Applied</strong> <strong>Life</strong> <strong>Sciences</strong> (ALS06) - Bachelor of Science<br />
Modulgruppe: Einführung in die Mikro- und Nanotechnologie<br />
2. Semester Einführung in die MST (B06-1)<br />
Modulnummer: B06-1 Prüfungsnummer: 621 Kurzzeichen:<br />
Modulgruppe: Einführung in die Mikro- und Nanotechnologie<br />
Lernziele: Kennenlernen der Arbeitsumfelder und Grundvoraussetzungen zur<br />
Herstellung von Mikrosystemen und zur Arbeit in einem<br />
biotechnischen Labor. Motivation anhand von vielen<br />
Anwendungsbeispielen aus den Bereichen Sensorik und Aktorik.<br />
Anmeldeformalitäten: Anmeldung zur Klausur gemäß Prüfungsordnung<br />
Prüfungsmodalitäten: Klausur<br />
Prüfungsart: Prüfungsleistung<br />
Prüfungsform: schriftlich<br />
Umfang: Summe ECTS P.: 3 / Summe SWS: 2<br />
zugehörige Veranstaltungen: Grundlagen der Fertigungstechnik 2<br />
Anwendungen<br />
Modulverantwortlich: Prof. Dr. Peter Pokrowsky<br />
Veranstaltung Grundlagen der Fertigungstechnik (B06-1)<br />
Veranstaltungsnummer: B06-1 Kurzzeichen: Semester: 2<br />
Inhalt: Arbeitsumfelder und Grundvoraussetzungen zur Herstellung von<br />
Mikrosystemen:<br />
Reinraumtechnologie, Vakuumtechnik,<br />
Einführung in Strukturierungsverfahren: Lithografie und Ätzen.<br />
Studienbehelfe / Literatur: Büttgenbach, Mikromechanik, ISBN: 3-519-13071-8<br />
Wutz, Adam, Walcher, Jouston: Handbuch Vakuumtechnik, ISBN:<br />
3-528-54884-3<br />
Glendinning, Helbert: Handbook of VLSI Microlithography; ISBN:<br />
0-8155-1281-3<br />
Köhler: Etching Techniques in Microtechnology, ISBN: 3-527-<br />
28869-4<br />
Marc Madou, "Fundamentals of Microfabrication", ISBN: 0-8493-<br />
9451-1<br />
Lehrsprache: Deutsch (oder englisch, je nach Teilnehmer)<br />
Arbeitsaufwand: 15h Vorlesung<br />
30h Selbststudium<br />
Umfang: ECTS P.: 3 / SWS: 2<br />
Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. Peter Pokrowsky<br />
Veranstaltung Anwendungen (B06-2)<br />
Veranstaltungsnummer: B06-2 Kurzzeichen: Semester: 2<br />
Inhalt: Typische Anwendungsbeispiele von Grundkonzepten der<br />
Mikrosystemtechnik. Anhand konkreter mikrotechnischer Systeme<br />
werden exemplarisch Anwendungsfelder vorgestellt und ein<br />
Überblick über die wichtigsten Basistechnologien gegeben.<br />
Studienbehelfe / Literatur: Marc Madou, "Fundamentals of Microfabrication"<br />
Lehrsprache: Deutsch<br />
Arbeitsaufwand: 15h Vorlesung<br />
30h Selbststudium<br />
Umfang: ECTS P.:<br />
Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. Antoni Picard<br />
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