Modulhandbuch Studiengang Applied Life Sciences - FHInfo ...

Modulhandbuch - Applied Life Sciences (ALS06) - Bachelor of Science
Studienbehelfe / Literatur: Kienel, Frey: Dünnschicht-Technologie;
Maissel, Glang: Handbook of Thin Film Technology;
Madou: Fundamentals of Microfabrication;
Silicon Processing for the VLSI-Era, Volume 1 - Process
Integration; S. Wolf: ISBN: 096167237
Understanding Semiconductor Devices; Sima Dimitrijev: ISBN:
019513186
VLSI-Technology; S. M. Sze: ISBN : 0070627355
Semiconductor Devices (Pysics and Technology): S. M. Sze :
ISBN: 04713333727
Halbleiter-Technologie: Eine Einführung in die Prozesstechnik;
Heinz Beneking: ISBN: 3519061333
Technologie hochintergrierter Schaltungen; D.Widmann et. al.:
ISBN: 3540593578
Silizium-Halbleitertechnologie; U. Hilleringmann: ISBN:
3519001497
Rao Tumalla: "Fundamentals of Microsystems Packaging"
W. Menz, J. Mohr, O. Paul: Mikrosystemtechnik
M. Madou: Fundamentals of Microfabrication, CRC Press LLC,
London, 1997
Lehrsprache: Deutsch
Arbeitsaufwand: 60h Vorlesung
90h Selbststudium
Umfang: ECTS P.: 5 / SWS: 4V
Verantwortliche Dozenten: Dr. Thomas Dietrich
Dr. rer. nat. Herbert Freimuth
Dr. Stefan Giselbrecht
Prof. Dr. Konrad Wolf
Veranstaltung Labor zu Verfahren und Analysemethoden der MST (B06-3)
Veranstaltungsnummer: B06-3 Kurzzeichen: Semester: 3
Inhalt: Die Studierenden lernen exemplarisch die entscheidenden
Prozessschritte zur Herstellung mikrotechnischer Bauelemente
kennen sowie deren Charakterisierung.
Studienbehelfe / Literatur: Analog zur Vorlesung "Verfahren und Analysemethoden der
MST".
Lehrsprache: Deutsch
Arbeitsaufwand: 30h Labor
30h Selbststudium
Sonstiges: Abgabe eines Protokolls zu jedem Versuch erforderlich
Umfang: ECTS P.: 2 / SWS: 2V
Verantwortliche Dozenten: Prof. Dr. med. Karl-Herbert Schäfer
Prof. Dr. Konrad Wolf
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