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gesamte Grenzflächenexperiment nahezu konstant. Die Emissionslinien Zn2p 3/2 und S2p besitzen
ebenfalls über die Schichtdickenvariation konstante Bindungsenergien. Hierbei ist die S2p
Emissionslinie erst nach 2 min Abscheidedauer in der linken Flanke der Se3p Emissionslinie zu
erkennen. Die Zn2p 3/2 Emissionslinie ist schon nach dem kurzen Eintauchen des CIGS Absorber
in das chemische Bad zu detektieren.
Das Valenzbandmaximum für CIGS beträgt 0.4 eV und das für CBD-ZnO 0.4 S 0.6 bei einer Abscheidedauer
von 15 min 2 eV. In den Emissionslinien des Sauerstoffs ist keine Schulter bei niedrigeren
Bindungsenergien zu erkennen, welche auf die Anwesenheit von Oxiden im ZnO 1−x S x
hindeuten würde. Die Oxidkomponente wird jedoch durch die Emissionslinie der adsorbierten
Hydroxide und des adsorbierten Wassers überdeckt.
Abbildung 5.20: REM-Bild einer unvollständig bedeckten CBD-ZnO 0.4 S 0.6 Probe. Das
Substrat (CIGS) ist als dunkle Flächen unter der hellen ZnO 1−x S x Pufferschicht zu
erkennen.
Dies wird bei der Betrachtung des Sputtertiefenprofils in Abbildung 5.21 bestätigt. Bereits nach
dem ersten Sputterschritt verringert sich in der Emissionslinie von O1s der Anteil der Oberflächenadsorbate
bei höheren Bindungsenergien und der Anteil der Oxide im ZnO 1−x S x bei niedrigeren
Bindungsenergien wird deutlich sichtbar. Der Anteil der Oberflächenadsorbate sollte nach
wenigen Sputterschritten nahezu vollständig entfernt sein. Aufgrund von Abschattungseffekten
und „knock-in“ Effekten kann jedoch eine geringe Intensität an Adsorbaten verbleiben. Die hier
beobachtete Intensität der Sauerstoffemission ist dafür jedoch zu hoch, was darauf schließen
lässt, dass die detektierten Hydroxid-Gruppen Teil der Schicht sind und es sich somit um eine
Zn(S,O,OH)-Schicht handelt.
Des Weiteren zeigt das Spektrum des Schwefels bei einer Bindungsenergie von 170 eV keine
Intensität, was die Anwesenheit von Sulfat (SO −2
4
-Gruppen) ausschließen lässt. Die Emissi-
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