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A.3 Detailspektren RF-ZnO 0.8 S 0.2<br />

167 163<br />

Ga2p 3/2<br />

Zn2p 1/2<br />

Cu2p 3/2<br />

O1s In3d 5/2<br />

S2pZ/ZSe3p Se3d VBM<br />

IntensitätZ[a.Zu.]<br />

3100s<br />

2976s<br />

2852s<br />

2728s<br />

2604s<br />

2480s<br />

2170s<br />

1550s<br />

610s<br />

310s<br />

248s<br />

186s<br />

124s<br />

62s<br />

0s<br />

1121 1115<br />

1049 1041 934 932 930 536 532 528 447 444 441 58 54 4 2 0<br />

BindungsenergieZ[eV]<br />

Abbildung A.5: Emissionslinien der Grenzfläche CIGS/RF-ZnO 0.8 S 0.2 beim Sputtertiefenprofil<br />

der Probe 9185638. Die Intensität der Komponente im O1s Detailspektrum bei höheren<br />

Bindungsenergien verringert sich nach dem ersten Sputterschritt deutlich und nimmt dann<br />

kontinuierlich ab, verschwindet aber auch nach 3100 s Sputterzeit nicht ganz. Die Pufferschicht<br />

ist somit noch nicht vollständig entfernt worden. Andere Messungen haben gezeigt,<br />

dass es sich bei der hochenergetischen Komponente um Sulfat handelt. Die Oxid-Komponente<br />

ist nach dem ersten Sputterschritt gut zu erkennen. Nach einer Sputterzeit von 2107 s sind<br />

die Emissionslinien des CIGS zu erkennen. Das Valenzbandmaximum für RF-ZnO 0.8 S 0.2 liegt<br />

bei 2.4 eV und verringert sich auf 0.2 eV für CIGS. Die Bindungsenergiewerte des Puffermaterials<br />

ändern sich nach dem ersten Sputterschritt und bleiben dann konstant. Die Bindungsenergiewerte<br />

des CIGS ändern sich nicht. Bei der Emissionslinie von Ga2p 3/2 und In3d 5/2 sind<br />

mit zunehmender Sputterzeit metallische Komponenten bei niedrigeren Bindungsenergien als<br />

Schultern an der Hauptemission zu erkennen.<br />

A.3 Detailspektren RF-ZnO 0.8 S 0.2 175

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