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(rot) oder mittels XPS (grün und blau) bestimmt. Für letztere wurden gesputterte Proben ohne
Adsorbate verwendet. Es wird deutlich, dass die CBD Proben, innerhalb der Messunsicherheit,
alle die gleiche Zusammensetzung besitzen, während RF-ZnO 1−x S x Proben eine über den gesamten
Zusammensetzungsbereich variable Zusammensetzung aufweisen.
AugerCParameterCα [eV]
2011.5
2011.0
2010.5
2010.0
Literatur
CBD-ZnOS
RF-ZnOS
Fit
RF-ZnOS
CBD-ZnOS
0.0
0.2 0.4 0.6 0.8
ZusammensetzungCxCinCZnO 1-x
S x
[a.u.]
1.0
Abbildung 5.7: Auger Parameter α für Zink in Abhängigkeit der Zusammensetzung
x von ZnO 1−x S x . Die Literaturwerte bestehen aus Werten für ALD-Zn(O,S)[126, 200]
und aus Werte für ZnO und ZnS[160].
Die aus Abbildung 5.7 erhaltene Geradengleichung (5.3) beschreibt die Abhängigkeit des Auger
Parameters von der Zusammensetzung x. Es wurde ein linearer Zusammenhang zwischen
dem Auger Parameter und der Zusammensetzung angenommen. Es zeigt sich eine gute Übereinstimmung
der mittels Auger Parameter und quantitativer XPS bestimmten Zusammensetzungen
(siehe Abbildung 5.11 und 5.12). Die mittlere Zusammensetzung von CBD-ZnO 1−x S x liegt bei
60 % Schwefel. Die Abweichung der Zusammensetzungen entspricht dem weiter unten abgeschätzten
Fehler von 10 %.
α = 2010.1 + 1.257x (5.3)
Die Unsicherheit der ermittelten Steigung beträgt 0.09 und die des y-Achsenabschnitts 0.05 eV.
Die Zusammensetzung x wird durch Umformen von Gleichung (5.4) erhalten.
x = (α − 2010.1)/1.257 (5.4)
5.4 Quantitative Analyse der Zusammensetzung 73