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Analyse
Präparation
Monochromator
Transferstange
CSS-CdTe
Depositionskammer
Transferkammer
CVDv
Kammer
PVD
Depositionskammer
CSS-CdS
Depositionskammer
Ionenquelle
Heliumlampe
Schleuse
CdCl 2
Aktivierungskammer
Depositionskammer
Rückkontakt
Analysator
Proben-
Manipulator
Abbildung 4.4: DArmstädter Integrierten SYstem für Solarzellenforschung [193]. Die
Analysekammer ist über ein Ultrahochvakuumssystem mit den Präparationskammern
verbunden.
gie von 10 eV und einer Schrittweite von 0.05 eV. Die Passenergie bestimmt die experimentelle
Auflösung, limitiert aber zugleich die erhaltene Intensität.
4.3 Impedanzmessungen
Die elektrischen Messungen wurden mit einem „Impedance Analyzer 4294 A“ von „Agilent“
durchgeführt. Hierfür wurden fertig prozessierte Solarzellen mit CBD-CdS und CBD-ZnO 1−x S x
Pufferschicht verwendet. Die Standardzelle besitzt eine 50 nm dicke CBD-CdS Schicht und eine
50 nm dicke i-ZnO Schicht als Puffer, die alternative Zelle besitzt eine 20 nm dicke CBD-
ZnO 0.4 S 0.6 Schicht und eine 80 nm dicke Zn 0.75 Mg 0.25 O Schicht als Puffer. Der restliche Zellaufbau
ist identisch und wie in Abbildung 1.1 gezeigt.
Die Kontaktierung erfolgt mittels Goldspitzen auf einer dafür vorgesehenen Probenstation. Die
Solarzellen können mit der Hilfe einer Heizung von Raumtemperatur auf 60 °C erhitzt werden.
Zur besseren Kontaktierung wurde auf den Molybdän-Rückkontakt Indium aufgebracht.
Es werden frequenzabhängige Messungen von 100 Hz bis 5 MHz mit einer Wechselspannungsamplitude
von 20 mV durchgeführt. Die Messungen wurden für die CdS-Zelle bei Temperaturen
von 31 °C, 38 °C und 60 °C gemacht. Für die ZnO 1−x S x -Zellen wurden vergleichbare Temperaturen
von 30 °C, 40 °C und 60 °C eingestellt. Bei jeder Temperatur wurden Messungen mit
4.3 Impedanzmessungen 55