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View/Open - JUWEL - Forschungszentrum Jülich

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98 Kapitel 6: Nahfeldeffekte in Dünnschichtsolarzellen<br />

bieren. Lichtführende, bzw. -streuende Eigenschaften sind für lange Wellenlängen<br />

entscheidend, da der Absorptionskoeffizient für a-Si:H in diesem Bereich stark<br />

abnimmt. An dem Verlauf der Absorptionskurven ist zu erkennen, dass die standardgeätzte<br />

ZnO:Al-Oberfläche für eine deutlich bessere Absorption sorgt. Diese<br />

Absorptionskurven untermauern damit sowohl die Vorhersagen der Simulation<br />

als auch die Interpretationen, die aus den NSOM-Messungen gewonnen wurden.<br />

6.3 Lokale Lichtfalleneigenschaften von selektiven<br />

und diffraktiven Filter<br />

Ein wichtiges Konzept für die auf Silizium basierende Dünnschichtsolarzelle ist<br />

die Integration eines Zwischenreflektors in die Tandemsolarzelle. Dieser Zwischenreflektor<br />

zwischen der a-Si:H- und μc-Si:H-Zelle soll zum einen wellenlängenselektive<br />

und zum anderen diffraktive Eigenschaften haben (vgl. Kap. 2.3). Im<br />

Rahmen dieser Arbeit ist ein Schichtsystem bestehend aus einer a-Si:H--<br />

Zelle, einer SiOx-Schicht als Zwischenreflektor und einer abschließenden dünnen<br />

μc-Si:H-Schicht (ca. 40 nm) untersucht<br />

worden (vgl. Abb. 6.13). Die zusätzliche<br />

μc-Si:H-Schicht sorgt dafür,<br />

dass die Umgebung des Zwischenreflektors<br />

optisch der Situation in einer<br />

a-Si:H-/μc-Si:H-Tandemsolarzelle<br />

gleicht. Des Weiteren bleibt durch<br />

die geringe Dicke der Schicht gewährleistet,<br />

dass genügend Lichtintensität<br />

für nahfeldmikroskopische Untersuchungen<br />

zur Verfügung steht.<br />

Bis auf die geringe Dicke der<br />

μc-Si:H-Schicht und den fehlenden<br />

Rückreflektor stellt dieses Schichtsystem<br />

eine komplette a-Si:H-/μc-Si:H-<br />

Dünnschichtsolarzelle dar. Für einen<br />

Vergleich stehen weitere Zellenstücke<br />

aus der gleichen Deposition ohne<br />

μc-Si:H-Schicht bzw. ohne Zwischenreflektor<br />

zur Verfügung. In Abb. 6.14<br />

sind die Ergebnisse großflächiger<br />

NSOM-Messungen bei Wellenlängen<br />

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Abbildung 6.13: Schematische Skizze zum<br />

Aufbau der untersuchten<br />

Proben mit Zwischenreflektor<br />

SiOx. Dieses Schichtsystem<br />

entspricht bis auf<br />

den fehlenden Rückreflektor<br />

dem Aufbau einer Tandemsolarzelle.

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