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View/Open - JUWEL - Forschungszentrum Jülich

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84 Kapitel 6: Nahfeldeffekte in Dünnschichtsolarzellen<br />

den Kraterwänden und die Ränder der Krater treten mit Lichtlokalisierungen,<br />

wenn auch in einer schwächeren Form, hervor.<br />

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Abbildung 6.1: Ergebnisse von NSOM-Messungen in Transmission an der Oberfläche<br />

einer rauen ca. 200 nm dicken a-Si:H-Schicht (a) und an der Oberfläche<br />

einer rauen ca. 1 μm dicken μc-Si:H-Schicht (b) bei einer Wellenlänge<br />

von 658 nm. (c) Topographie einer mit a-Si:H bedeckten Kraterstruktur<br />

und zugehörige NSOM-Messungen bei Wellenlängen von 473 nm und<br />

780 nm.<br />

Das Messen evaneszenter Felder an den texturierten a-Si:H-und μc-Si:H-Oberflächen<br />

ist von zentraler Bedeutung. Für die Dünnschichtsolarzelle ist eine optimale<br />

Lichtführung essentiell, da nur ein möglich langes Verweilen der Lichtmoden in<br />

der photovoltaisch aktiven Schicht eine maximale Generation von Ladungsträgern<br />

gewährleisten kann. Da evaneszente Felder auf Grund von Totalreflexionen an<br />

der Grenzfläche entstehen, sollte ihr Vorkommen als Maß für die Lichtführung<br />

geeignet sein. Anhand der in Abb. 6.1(c) gezeigten Kraterstruktur ist zu erkennen,<br />

dass analog zum Fall der reinen ZnO:Al-Oberfläche an Luft auch die a-Si:H-<br />

Oberfläche an den Kraterwänden eine Lichtführung ermöglicht. Evaneszente<br />

Felder sind an diesen Stellen besonders häufig anzutreffen.<br />

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