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86 Kapitel 6: Nahfeldeffekte in Dünnschichtsolarzellen<br />
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Abbildung 6.3: NSOM-Messung an einer stochastisch texturierten und mit a-Si:Hbedeckten<br />
Oberfläche (30 μm × 30 μm) bei einer Wellenlänge von 658 nm.<br />
Eine ausreichend große Verkippung der Probe ermöglicht die kontinuierliche<br />
Messung des Übergangs vom Nah- ins Fernfeld. Typische Bereiche<br />
sind in der Abbildung hervorgehoben.<br />
im Übergangsbereich zum Fernfeld. Ein Vergleich mit Messungen in denen der<br />
Abstand kontrolliert erhöht wurde, und auch die Erfahrung aus Messungen<br />
an texturierten ZnO:Al-Oberflächen, wie z. B. in Abb. 5.13, zeigen, dass der<br />
rechte untere Bildrand einer NSOM-Messung im Übergangsbereich entspricht,<br />
d. h. der Abstand beträgt maximal einige Wellenlängen. Bei deutlich größeren<br />
Abständen wäre ein Specklemuster zu erwarten (vgl. Abb. 5.13). In dieser NSOM-<br />
Messung sind jedoch deutlich die Lichtlokalisierungen der Kraterränder zu<br />
sehen, die im Übergangsbereich besonders intensiv hervortreten. Die Neigung<br />
der Probe kann anhand der gemessenen Topographie auf 2,0 ◦ ± 0,5 ◦ abgeschätzt<br />
werden. Damit ergibt sich ein maximaler Abstand zwischen Oberfläche und<br />
Spitze von 1,2 μm ± 0,3 μm. Diese grobe Abschätzung bestätigt die Erfahrungen<br />
aus vorherigen Messungen. Die Betrachtung der weiteren Propagation des Lichts<br />
in Form einer Profilansicht eines Höhenscans offenbart ähnliche Phänomene, wie<br />
sie bereits an den stochastisch texturierten TCO-Oberflächen beobachtet werden<br />
konnten. Dies ist im Wesentlichen in der nahezu konformalen Deposition der<br />
a-Si:H-Schicht begründet. Die Oberflächenstruktur bleibt weitestgehend erhalten<br />
und nur lokale, bzw. auf der Nanometerskala relevante, Abweichungen treten<br />
auf. Effekte, die auf groben Strukturelementen beruhen, wie z. B. Photonenjets<br />
und auch die Lichtfokussierungen, ähneln daher sehr stark den Phänomenen, die<br />
an den ZnO:Al-Oberflächen zu beobachten sind. In Abb. 6.4 sind exemplarisch
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