View/Open - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
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68 Kapitel 5: Lokale optische Effekte an texturierten TCO-Oberflächen<br />
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Abbildung 5.8: Gegenüberstellung von winkelaufgelöster Messung (grün) und den Ergebnissen<br />
aus den Auswertungen von NSOM-Messung (rot) und Topographie<br />
in der ersten Beugungsordnung (schwarz). Das obere Diagramm<br />
zeigt die Ergebnisse von Messungen bei einer Wellenlänge von 658 nm<br />
und im unteren Diagramm bei einer Wellenlänge von 780 nm. In den<br />
Diagrammen im Diagramm sind halblogarithmische Anpassungen an<br />
die Ergebnisse der NSOM-Messungen dargestellt.<br />
gen. Zum besseren Vergleich der Winkelverteilungen sind die Integrale der dargestellten<br />
Kurven auf 1 normiert. Es ist zu erkennen, dass die auf eine Fernfeldmessung<br />
beruhende winkelaufgelöste Streumessung stark der aus den Topographiedaten<br />
bestimmten Winkelverteilung ähnelt. Dies bedeutet, dass die im Nahfeld<br />
vermessene Fläche (hier: 20 μm × 20 μm) das Streuverhalten der gesamten Probe<br />
grundsätzlich gut wiedergibt. Dennoch sind auch leichte Abweichungen erkennbar.<br />
Die Winkelverteilung, die aus den optischen Daten der NSOM-Messung<br />
ermittelt wurde, weisst zum einen eine Verbreiterung und zum anderen eine<br />
Verschiebung zu kleineren Winkeln auf. Diese Abweichungen können auf drei<br />
mögliche Effekte zurück geführt werden. Zunächst können durch die Fourieranalyse<br />
selbst Artefakte in das Auswertungsergebnis eingebracht werden, da<br />
sowohl Vielfache der Raumfrequenzen wie auch ihre Summen und Differenzen<br />
die Auswertung beeinflussen können. Im Fall der vorliegenden Auswertung ist<br />
daher nicht auszuschließen, dass einige Frequenzbereiche überschätzt werden,<br />
insbesondere da Frequenzen evaneszenter Felder mit den Frequenzen propa-<br />
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