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View/Open - JUWEL - Forschungszentrum Jülich

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68 Kapitel 5: Lokale optische Effekte an texturierten TCO-Oberflächen<br />

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Abbildung 5.8: Gegenüberstellung von winkelaufgelöster Messung (grün) und den Ergebnissen<br />

aus den Auswertungen von NSOM-Messung (rot) und Topographie<br />

in der ersten Beugungsordnung (schwarz). Das obere Diagramm<br />

zeigt die Ergebnisse von Messungen bei einer Wellenlänge von 658 nm<br />

und im unteren Diagramm bei einer Wellenlänge von 780 nm. In den<br />

Diagrammen im Diagramm sind halblogarithmische Anpassungen an<br />

die Ergebnisse der NSOM-Messungen dargestellt.<br />

gen. Zum besseren Vergleich der Winkelverteilungen sind die Integrale der dargestellten<br />

Kurven auf 1 normiert. Es ist zu erkennen, dass die auf eine Fernfeldmessung<br />

beruhende winkelaufgelöste Streumessung stark der aus den Topographiedaten<br />

bestimmten Winkelverteilung ähnelt. Dies bedeutet, dass die im Nahfeld<br />

vermessene Fläche (hier: 20 μm × 20 μm) das Streuverhalten der gesamten Probe<br />

grundsätzlich gut wiedergibt. Dennoch sind auch leichte Abweichungen erkennbar.<br />

Die Winkelverteilung, die aus den optischen Daten der NSOM-Messung<br />

ermittelt wurde, weisst zum einen eine Verbreiterung und zum anderen eine<br />

Verschiebung zu kleineren Winkeln auf. Diese Abweichungen können auf drei<br />

mögliche Effekte zurück geführt werden. Zunächst können durch die Fourieranalyse<br />

selbst Artefakte in das Auswertungsergebnis eingebracht werden, da<br />

sowohl Vielfache der Raumfrequenzen wie auch ihre Summen und Differenzen<br />

die Auswertung beeinflussen können. Im Fall der vorliegenden Auswertung ist<br />

daher nicht auszuschließen, dass einige Frequenzbereiche überschätzt werden,<br />

insbesondere da Frequenzen evaneszenter Felder mit den Frequenzen propa-<br />

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