Kurs- und Modulkatalog Nanotechnologie 2013/14 - LNQE - Leibniz ...

01.10.2013 Teil C: Verzeichnis der Kursbeschreibungen: Master
Produktion optoelektronischer Systeme
Production of Opto-Electronic Systems
Dozent: Overmeyer
E-Mail: ita@ita.uni-hannover.de
Ziel des Kurses:
Ziel der Vorlesung ist die Vermittlung von Kenntnissen über die Fertigungstechniken von
Halbleiterbauelementen und Mikrosystemen. Dabei stehen die Fertigungsprozesse des "Back-end process", also
die Fertigung ab dem Vereinzeln von Wafern im Vordergrund. Es werden Techniken wie Waferbearbeitung,
Bonden (Die-, Wire-, Flip-Chip-), Burn-In und Einhausen von Bauteilen mit besonderer Berücksichtigung
optoelektronischer Bauteile erläutert. Behandelt werden ferner applikationsspezifische Montagetechniken sowie
Verfahren zur Integration elektronischer und mikrotechnischer Systeme.
Inhalt:
- Mechanische Waferbearbeitung;
- Mechanische Chipverbindungstechniken (Bonden, Mikrokleben, Löten);
- Elektrische Kontaktierverfahren (Die-, Wire-, Flip-Chip-Bonding);
- Gehäusebauformen der Halbleitertechnik;
- Aufbau und Strukturierung/Herstellung von Schaltungsträgern (Leiterplatten,
Multi-Chip-Modul (MCM));
- Markieren, Beschriften und Verpacken;
- Leiterplattenbestückungs- und Löttechniken;
- Applikationsspezifische Montagetechniken;
- Montage von optoelektronischen Bauelementen.
Empfohlene Vorkenntnisse:
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Voraussetzungen:
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Literaturempfehlung:
Vorlesungsskript; weitere Literatur wird in der Vorlesung angegeben.
Besonderheiten:
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Präsenzstudienzeit: 32h
Selbststudienzeit: 88h
Art der Prüfung: mündlich
Studienleistung:
V2/Ü1
LP: 4
WS
Empfohlen ab dem: 1. Semester
Seite 107