27.04.2014 Aufrufe

Kurs- und Modulkatalog Nanotechnologie 2013/14 - LNQE - Leibniz ...

Kurs- und Modulkatalog Nanotechnologie 2013/14 - LNQE - Leibniz ...

Kurs- und Modulkatalog Nanotechnologie 2013/14 - LNQE - Leibniz ...

MEHR ANZEIGEN
WENIGER ANZEIGEN

Erfolgreiche ePaper selbst erstellen

Machen Sie aus Ihren PDF Publikationen ein blätterbares Flipbook mit unserer einzigartigen Google optimierten e-Paper Software.

01.10.<strong>2013</strong> Teil C: Verzeichnis der <strong>Kurs</strong>beschreibungen: Master<br />

Laborpraktikum Halbleitertechnologie<br />

Semiconductor Technology Laboratory<br />

Dozent: Osten<br />

Webseite:<br />

Ziel des <strong>Kurs</strong>es:<br />

Das Labor vermittelt anhand mehrerer Versuche praxisnah die wichtigen Aspekte der Herstellung von mikroelektronischen<br />

Bauelementen.<br />

Inhalt:<br />

Die Teilnehmer werden in dem Labor alle zur Herstellung einer integrierten Schaltung notwendigen Prozessschritte<br />

kennen lernen <strong>und</strong> zum größten Teil selbst ausführen. Die von den Teilnehmern hergestellten Halbleiterbauelemente<br />

werden elektrisch charakterisiert.<br />

Empfohlene Vorkenntnisse:<br />

Kenntnisse aus den Vorlesungen "Halbleitertechnologie" <strong>und</strong> "Gr<strong>und</strong>lagen der Halbleiterbauelemente" sind Voraussetzung<br />

für die Teilnahme an dem Labor.<br />

Voraussetzungen:<br />

Kenntnisse aus den Vorlesungen "Halbleitertechnologie" <strong>und</strong> "Gr<strong>und</strong>lagen der Halbleiterbauelemente" sind Voraussetzung<br />

für die Teilnahme an dem Labor.<br />

Literaturempfehlung:<br />

Wird im Praktikum bekanntgegeben<br />

Besonderheiten:<br />

Das Labor wird als Blockveranstaltung im Januar durchgeführt.<br />

Präsenzstudienzeit: 32h<br />

Selbststudienzeit: 88h<br />

Art der Prüfung: keine<br />

Studienleistung: Protokoll<br />

P4<br />

LP: 4<br />

WS<br />

Empfohlen ab dem: 1. Semester<br />

Seite 88

Hurra! Ihre Datei wurde hochgeladen und ist bereit für die Veröffentlichung.

Erfolgreich gespeichert!

Leider ist etwas schief gelaufen!