Kurs- und Modulkatalog Nanotechnologie 2013/14 - LNQE - Leibniz ...
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01.10.<strong>2013</strong> Teil C: Verzeichnis der <strong>Kurs</strong>beschreibungen: Master<br />
Laborpraktikum Halbleitertechnologie<br />
Semiconductor Technology Laboratory<br />
Dozent: Osten<br />
Webseite:<br />
Ziel des <strong>Kurs</strong>es:<br />
Das Labor vermittelt anhand mehrerer Versuche praxisnah die wichtigen Aspekte der Herstellung von mikroelektronischen<br />
Bauelementen.<br />
Inhalt:<br />
Die Teilnehmer werden in dem Labor alle zur Herstellung einer integrierten Schaltung notwendigen Prozessschritte<br />
kennen lernen <strong>und</strong> zum größten Teil selbst ausführen. Die von den Teilnehmern hergestellten Halbleiterbauelemente<br />
werden elektrisch charakterisiert.<br />
Empfohlene Vorkenntnisse:<br />
Kenntnisse aus den Vorlesungen "Halbleitertechnologie" <strong>und</strong> "Gr<strong>und</strong>lagen der Halbleiterbauelemente" sind Voraussetzung<br />
für die Teilnahme an dem Labor.<br />
Voraussetzungen:<br />
Kenntnisse aus den Vorlesungen "Halbleitertechnologie" <strong>und</strong> "Gr<strong>und</strong>lagen der Halbleiterbauelemente" sind Voraussetzung<br />
für die Teilnahme an dem Labor.<br />
Literaturempfehlung:<br />
Wird im Praktikum bekanntgegeben<br />
Besonderheiten:<br />
Das Labor wird als Blockveranstaltung im Januar durchgeführt.<br />
Präsenzstudienzeit: 32h<br />
Selbststudienzeit: 88h<br />
Art der Prüfung: keine<br />
Studienleistung: Protokoll<br />
P4<br />
LP: 4<br />
WS<br />
Empfohlen ab dem: 1. Semester<br />
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