Kurs- und Modulkatalog Nanotechnologie 2013/14 - LNQE - Leibniz ...
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01.10.<strong>2013</strong> Teil C: Verzeichnis der <strong>Kurs</strong>beschreibungen: Master<br />
Gr<strong>und</strong>lagen der Epitaxie<br />
Introduction to Epitaxie<br />
Dozent: Fissel<br />
Webseite: http://www.lfi.uni-hannover.de/org/semiconductor/fissel/Vorlesung_Epitaxie.html<br />
Ziel des <strong>Kurs</strong>es:<br />
Die Epitaxie ist eine wissenschaftliche Methode zur Untersuchung der Mechanismen des<br />
Wachstums (der Herstellung) von einkristallinen Schichten <strong>und</strong> Schichtsystemen. Gleichzeitig stellt die Epitaxie<br />
eine wichtige Technologie der heutigen Mikroelektronik dar. Interessant für zukünftige Anwendungen der Epitaxie<br />
ist insbesondere die Möglichkeit der kontrollierten Erzeugung von kristallinen Materialien <strong>und</strong> Materialsystemen<br />
auf Größenskalen von wenigen Nanometern. Die Studierenden erwerben somit f<strong>und</strong>iertes Wissen über die theoretischen<br />
<strong>und</strong> experimentellen Gr<strong>und</strong>lagen zukunftsträchtiger Methoden der <strong>Nanotechnologie</strong>. Sie kennen verschieden<br />
experimentelle Ansätze <strong>und</strong> können diese aufgr<strong>und</strong> ihrer Stärken <strong>und</strong> Schwächen einordnen.<br />
Inhalt:<br />
- Gr<strong>und</strong>lagen der Kristallographie<br />
- Oberflächen<br />
- Analysemethoden<br />
-Verfahrender Epitaxie<br />
- Mechanismen des Schichtwachstums<br />
- Methoden der Epitaxie<br />
- Dotierungen <strong>und</strong> Defekte<br />
- Epitaxie niedrig-dimensionaler Strukturen<br />
- Experimentelle Untersuchungen der Epitaxieprozesse<br />
Empfohlene Vorkenntnisse:<br />
Empfohlene Vorkenntnisse: Halbleitertechnologie<br />
Voraussetzungen:<br />
---<br />
Literaturempfehlung:<br />
Vorlesungsskript „Epitaxie“; Fissel, A ; Schneider, H.S.; Ickert, L.: Halbleiterepitaxie, Dr. Alfred<br />
Hüthig Verlag, Heidelberg 1984; Kleber, W.: Einführung in die Kristallographie; Verlag Technik,<br />
Berlin<br />
Besonderheiten:<br />
Laborführung im Rahmen der Vorlesung<br />
Präsenzstudienzeit: 32h<br />
Selbststudienzeit: 88h<br />
Art der Prüfung: mündlich<br />
Studienleistung:<br />
V2/Ü1<br />
LP: 4<br />
SS<br />
Empfohlen ab dem: 1. Semester<br />
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