Kurs- und Modulkatalog Nanotechnologie 2013/14 - LNQE - Leibniz ...

01.10.2013 Teil C: Verzeichnis der Kursbeschreibungen: Bachelor
Mikro- und Nanotechnologie
Micro and Nano Technology
Dozent: Rissing
Ziel des Kurses:
Ziel der Vorlesung ist die Vermittlung von Kenntnissen über Prozesse und Anlagen, die der Herstellung von Mikround
Nanobauteilen dienen. Bei der Mikrotechnologie liegt der Schwerpunkt auf Verfahren der Dünnfilmtechnik. Die
Herstellung der Bauteile erfolgt durch Einsatz von Beschichtungs-, Ätz- und Dotiertechniken in Verbindung mit
Fotolithografie. Beim Übergang zur Nanotechnologie werden letztere durch Verfahren der Selbstorganisation ergänzt.
Hier kommen spezielle Verfahren zum Einsatz, die unter der Bezeichnung Bottom up- und Top down-
Prozesse zusammengefasst werden. Studierende können zwischen den einzelnen Prozessen unterscheiden und
verstehen den grundlegenden Aufbau von Mikro- und Nanosystemen.
Inhalt:
- Grundlagen der Vakuumtechnik
- Beschichtungstechnik: Physikalische (Physical Vapor Deposition - PVD) und chemische
(Chemical Vapor Deposition - CVD) Abscheidung von Filmen aus der Dampfphase,
galvanische Verfahren
- Dotierung und Oberflächenumwandlung
- Ätztechnik: Nasschemisches Ätzen, physikalisches, physikalisch-chemisches und
chemisches Trockenätzen
- Fotolithografische Verfahren zur Strukturdefinition
- Nanotechnologie: Bottom up- und Top down-Prozesse
- Fertigung im Reinraum
Empfohlene Vorkenntnisse:
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Voraussetzungen:
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Literaturempfehlung:
Vorlesungsskript; Wautelet: Nanotechnologie, Oldenbourg, 2008; M.J. Madou: Fundamentals of Microfabrication.
2. Ausgabe, Boca Raton [u.a.]: CRC Press, 2002; S. Büttgenbach: Mikromechanik : Einführung in Technologie
und Anwendungen. 2. Auflage, Teubner, 1994
Besonderheiten:
Reinraumübungen
Präsenzstudienzeit: 32h
Selbststudienzeit: 88h
Art der Prüfung: schriftlich
Studienleistung: keine
V2/Ü1
LP: 4
WS
Empfohlen ab dem: 3. Semester
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