Kurs- und Modulkatalog Nanotechnologie 2013/14 - LNQE - Leibniz ...
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01.10.<strong>2013</strong> Teil C: Verzeichnis der <strong>Kurs</strong>beschreibungen: Master<br />
Halbleitertechnologie<br />
Semicondoctor Technology<br />
Dozent: Osten<br />
Webseite: http://www.mbe.uni-hannover.de/index.php?id=93<br />
Ziel des <strong>Kurs</strong>es:<br />
Diese Vorlesung vermittelt Gr<strong>und</strong>kenntnisse der Prozesstechnologie für die Herstellung von integrierten Halbleiterbauelementen<br />
der Mikroelektronik. Die Studierenden lernen Einzelprozessschritte zur Herstellung von Sibasierten<br />
mikroelektronischen Bauelementen <strong>und</strong> Schaltungen sowie analytische <strong>und</strong> messtechnische Verfahren<br />
zur Untersuchung von mikroelektronischen Materialien <strong>und</strong> Bauelementen kennen.<br />
Inhalt:<br />
-Technologietrends<br />
-Wafer-Herstellung<br />
- Technologische Prozesse<br />
- Dotieren, Diffusion, Ofenprozesse<br />
- Implantation<br />
- Oxidation<br />
- Schichtabscheidung<br />
- Epitaxie<br />
- Planarisieren<br />
- Lithografie<br />
- Nasschemie<br />
- Plasmaprozesse<br />
- Metrologie<br />
- Post-Fab-Verarbeitung<br />
Empfohlene Vorkenntnisse:<br />
---<br />
Voraussetzungen:<br />
---<br />
Literaturempfehlung:<br />
Vorlesungsskript (online); B. Hoppe: Mikroelektronik, Teil 2 (Herstellungsprozesse für integrierte<br />
Schaltungen), Vogel-Fachbuchverlag, 1998,ISDN 8023 1588; Stephen A. Campbell: The Science and<br />
Engineering of Microelectronic Fabrication, Oxford University<br />
Besonderheiten:<br />
---<br />
Präsenzstudienzeit: 45h<br />
Selbststudienzeit: 75h<br />
Art der Prüfung: mündlich<br />
Studienleistung:<br />
V2/Ü1<br />
LP: 4<br />
WS<br />
Empfohlen ab dem: 1. Semester<br />
Seite 87
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