A MAGYAR TUDOMÁNYOS AKADÉMIA ... - MTA Sztaki

kicsíny, 10 -2 -es nagyságrendű növekedést mutattak ki. Megállapították, hogy a törésmutató
profil a protonok energia veszteségi görbéjének megfelelően változik.
Optoelektronikai anyagok és szilícium szeletek minősítésére fotolumineszcencia elvén
alapuló érintés- és roncsolásmentes mérési módszereket dolgoztak ki. Speciális optikai
megoldásokkal lehetővé tették, hogy a különböző félvezetők fotolumineszcencia spektrumait
megfelelő jel-zaj viszony mellett lehessen mérni. A kifejlesztett eszközök perspektivikus piaci
lehetőségeket jelentenek az együttműködő ipari partner, a Semilab Zrt. számára.
A korábbi vizsgálatok kimutatták, hogy az impulzuslézeres párologtatás (ILP) elvén működő
rétegépítés során, ns-os excimer lézer impulzusok alkalmasak bioloógiai sztöchiometrikus
vékonyrétegek (fehérjék, enzimek stb.) előállítására. A módszer hatékonyságát növelvén a nsos
impulzusokat, melyeknek termális hatása komoly, ultrarövid (fs-os) impulzusokkal
helyettesítették. A kísérleteket egy 450 fs impulzushosszúságú KrF excimer lézerrel végezték
pepszin, fogpor, biopolimer stb. mintákon. A spektroszkópiai vizsgálatok bebizonyították,
hogy sérülékeny szerves és bio molekulákból is lehet bioaktivitást tartó vékonyrétegeket
leválasztani fs-os impulzuslézeres párologtatással. Továbbá ns-os ILP-vel elektromosan
szigetelő, de porózus szerkezetű Teflon vékonyrétegeket választottak le szén-nanocső
rétegekre, melyeket a későbbiekben szenzorikai célokra kívánnak használni.
A kutatócsoport a korábbiakban kimutatta, hogy a lézerindukált hátsóoldali nedves maratási
eljárás (LIBWE) alkalmas szubmikrométeres struktúrák kialakítására kvarc mintán. Az
általuk kidolgozott két-nyaláb interferenciás-LIBWE módszert továbbfejlesztették, s
immerziós folyadék segítségével 104 nm periódusú rácsot martak kvarcba ns-os KrF excimer
lézerrel. Ez az érték ebben a pillanatban világcsúcsnak számít. A LIBWE analógiájára
kifejlesztett lézeres hátsóoldali száraz maratási (LIBDE) módszer főbb paramétereit
vizsgálták, kidolgoztak egy modellt a maratási folyamat leírására. Kimutatták, hogy az eljárás
látható hullámhosszon működő lézerek esetében is alkalmazható.
Megépítettek egy mátrix anyaggal elősegített lézeres párologtató elrendezést, melynek
segítségével sikerült olyan, bomlékony biológiai anyagból álló vékonyréteget készíteniük,
mint pl. az ureáz. Továbbá különböző lézeres kémiai, strukturálási, rétegleválasztási
eljárásokkal sikerült olyan felületeket kialakítaniuk, melyeken irányított sejtmegtapadást,
növekedést valósítottak meg. Az elért eredmények az élő sejt-alapú bioszenzor technikában
lehetnek jelentősek, rendelkezhetnek potenciális alkalmazási lehetőséggel.
Fotoakusztika. A kutatócsoportban a korábbiakban kifejlesztett fotoakusztikus
mérőrendszereket továbbfejlesztették, és alkalmazási körüket szélesítették érzékenységük
javításával, szelektivitásuk növelésével. Prekoncentrációs egység alkalmazásával a
fotoakusztikus ammóniamérő érzékenysége több mint 2 nagyságrenddel növekedett, elérvén a
ppb nagyságrendet. Amennyiben a létrejött berendezés terepi mérésekre is alkalmasnak
bizonyul, akkor várhatóan komoly piaci értékkel rendelkezik majd, mivel ilyen ppb
érzékenységű műszer legjobb tudomásuk szerint jelenleg nem kapható a kereskedelemben.
Egy, az Európai Unió által támogatott nemzetközi projekt keretében megépített vízgőz-mérő
berendezés új generációját fejlesztették ki. Az új rendszer lényegesen kisebb
hőmérsékletérzékenységgel bír, továbbá a hosszú idejű stabilitása is sokkal jobb. Emellett a
Phalcon NitroEurope c. FP6-os integrált projekt keretei között repülőgépes méréseket
végeztek alacsonyabb mérési magasságokban. Bebizonyosodott, hogy a fotoakusztikus
mérőrendszer alacsony repülési magasságokban is megbízhatóan működik.
315