Untersuchung mikromagnetischer Strukturen in dünnen Schichten

3 EXPERIMENTELLER AUFBAU UND PROBENPRÄPARATION 43
Oberfläche eine zweizählige Symmetrie, die leichten Achsen der Magnetisierung sind
die in der Oberfläche liegenden < 100 >-Richtungen. Abb. 15 zeigt einige der ersten
SEMPA-Aufnahmen am SAN 670 xi. Im linken Teilbild ist im Prinzip die Polarisationskomponente
parallel zur linken/rechten Kante des Bildes dargestellt, in der
Mitte diejenige parallel zur unteren/oberen Kante. Dies ist durch die Pfeile unter den
Bildern angedeutet. Das rechte Bild zeigt in einer SEM-Aufnahme die Topographie der
Oberfläche.
In beiden magnetischen Bildern erkennt man entsprechend der zweizähligen Symmetrie
der Oberfläche jeweils nur zwei Grautöne. Die zugehörige Richtung der Magnetisierung
ist durch die Pfeile dargestellt. Es liegt ein Multidomänenzustand vor, dessen Struktur
in beiden Bildern gleich ist. Ursache für die auffallende und auf Oberflächen von
Volumenproben gewöhnlich nicht zu beobachtende unregelmäßige Domänenform mit
beliebig orientierten Domänenwänden ist eine leichte Fehlorientierung der Kristalloberfläche.
Ein quantitiver Vergleich der beiden SEMPAs S800 und SAN 670 xi ist zu diesen
Zeitpunkt noch nicht möglich. Erst müssen am SAN 670 xi die Einstellungen für das
elektrostatische Linsensystem und die Geometrie der hinter der Optik angebrachten
Einzellinse optimiert, sowie die maximal erreichbare Auflösung überprüft werden.
3.3 Die Herstellung der Co/Cu(001)-Mikrostrukturen
Die Präparationskammer des SEMPA S800 ist als auf der Seite liegender Kreiszylinder
mit ca. 200 mm Durchmesser ausgeführt und bietet in zwei zur Achse senkrechten
Ebenen die Möglichkeit, die Probe für die SEMPA-Messungen zu präparieren. Die Abb.
16 und 17 zeigen jeweils einen Schnitt durch eine der beiden Ebenen. Die Probe befindet
sich in beiden Fällen im Zentrum auf dem als Manipulator dienenden Transferstab und
ist um die Symmetrieachse des Zylinders drehbar.
In der dem Mikroskop zugewandten Ebene (Abb. 16) befinden sich ein Zylinderspiegelanalysator
(CMA) mit intergrierter Elektronenkanone (0-10 kV), ein Quadrupolmassenspektrometer,
eine Ionenkanone, ein Heizfilament und ein Fluoreszenzschirm.
Der CMA ist mittels eines Federbalgs bewegbar und kann aus der Arbeitsposition für
die Augerelektronenspektroskopie (AES) herausgezogen werden, damit der Probentransfer
ins Mikroskop möglich ist. Die Ionenkanone dient zum Ionenätzen und wird
bei einem Argon-Partialdruck von 2 · 10−5mbar, einer Ionenenergie von 600eV und
streifendem Einfall (Winkel zur Oberfläche ca. 200 ) betrieben. Die herunterfahrbare