Untersuchung mikromagnetischer Strukturen in dünnen Schichten

3 EXPERIMENTELLER AUFBAU UND PROBENPRÄPARATION 44
Probenheizung31 erlaubt das Ausheilen der beim Ionenbeschuß enstandenen Defekte
an der Kristalloberfläche. Geheizt wird gleichzeitig mittels Strahlung (ca. 20W) und
Elektronenstoß (ca. 24W), was eine Probentemperatur von ca. 650oC ergibt. Der Fluoreszenzschirm
ermöglicht die Aufnahme von MEED32 -Oszillationen unter Verwendung
der Auger-Elektronenkanone.
Abbildung 16: Querschnittszeichnung durch Präparationsebene 1: In dieser Ebene befinden sich u.a.
ein Augeranalysator mit eingebauter Elektronenkanone, eine Ionenkanone und eine Probenheizung.
In der zweiten Ebene (Abb. 17) befinden sich ein Kobalt-Ofen, ein Helmholtz-
Spulenpaar, ein über zwei Linearantriebe beweglicher Maskenhalter und ein ihm
gegenüber am Fenster außerhalb der Kammer angebrachtes Fernrohr. Der Ofen ist als
wassergekühlter Elektronenstrahlverdampfer ausgeführt und wird über eine im Institut
entwickelte Steuerung betrieben. Diese ermöglicht die Messung und Stabilisierung des
ionisierten Teils des verdampften Kobalts und damit eine hohe Reproduzierbarkeit der
Aufdampfrate. Das Spulenpaar erlaubt die Erzeugung von Magnetfeldern bis zu 160 Oe
für ca. 10 Sekunden. Die Einstellung der relativen azimutalen Orientierung von Magnetfeld
und Probenoberfläche erfolgt durch Drehung der Probe auf dem Transferstab und
ist auf ±5o genau. Auf dem Maskenhalter ist ein Piezokristall-getriebener Schrittmotor
befestigt, der wiederum ein geschlitztes Kupferblech (Schlitzbreite ca. 300 µm) und
ein mikrostrukturiertes Siliziumplättchen trägt. Kupferblech und Si-Plättchen können
31Dies ist zum einen für den Probentransfer ins Mikroskop nötig, zum anderen ist eine definierte
Annäherung an die Probe möglich.
32Kurzform für Medium Energy Electron Diffraction“ (Beugung mittelenergetischer Elektronen,
”
siehe z.B. [124, 125]).