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Estudo de revestimentos cerâmicos sobre substrato metálico obtido

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TABELA 3.7 - Variáveis do processo para obtenção dos filmes por EB-PVD.<br />

Variáveis<br />

MCrAlY ZrO2 + 8% em<br />

peso <strong>de</strong> Y2O3<br />

Média Desvio Média Desvio<br />

Feixe Tensão (kV) 25,9 0,7 26,0 0,6<br />

<strong>de</strong> Corrente (A) 0,16 0,04 0,18 0,11<br />

elétrons Tempo (min) 171 18 139 68<br />

Energia (kW.h) 11,56 1,74 9,34 5,02<br />

Alvo Massa evaporada (g) 18,15 3,50 21,16 10,46<br />

Posição (cm) L 15,8 1,1 14,9 2,3<br />

a<br />

Ver Figura 2.23.<br />

b<br />

Massa específica calculada pela massa <strong>de</strong>positada e geometria do <strong>de</strong>pósito.<br />

a<br />

Substrato<br />

x 7,5 - 7,5 -<br />

Temperatura ( o C) 507 116 964 47<br />

Espessura (µm) 26,2 10,2 52,5 24,9<br />

Massa (g) 0,35 0,13 0,66 0,16<br />

Massa específica (g/cm 3 ) b<br />

Filme<br />

7,91 0,42 4,98 1,29<br />

Taxa <strong>de</strong> <strong>de</strong>posição (µm/min) 0,16 0,07 0,43 0,24<br />

Taxa <strong>de</strong> <strong>de</strong>posição (µm/kW-h) 2,25 0,63 6,78 3,65<br />

Probabilida<strong>de</strong> <strong>de</strong> a<strong>de</strong>são c<br />

31,81 3,32 32,51 7,06<br />

c Calculado pela Equação 2.16.<br />

Visualmente, também é possível i<strong>de</strong>ntificar diferenças entre a evaporação dos<br />

dois materiais. Durante a evaporação do MCrAlY a poça <strong>de</strong> fusão é <strong>de</strong> maior dimensão<br />

e não há tendência <strong>de</strong> formação <strong>de</strong> crateras. Enquanto na evaporação da cerâmica, a<br />

poça <strong>de</strong> fusão é bem menor, há formação <strong>de</strong> crateras e, em conseqüência, aparecem<br />

bordas íngremes na periferia do alvo (região mais fria) difíceis <strong>de</strong> serem evaporadas<br />

(Figura 3.6).<br />

FIGURA 3.6 - Alvo <strong>de</strong> (a) MCrAlY e (b) cerâmica <strong>de</strong> zircônia durante o processo <strong>de</strong><br />

evaporação.<br />

Os principais parâmetros operacionais empregados na obtenção dos diversos<br />

<strong>revestimentos</strong> <strong>de</strong> MCrAlY produzidos são apresentados na Tabela 3.8. A Tabela 3.9<br />

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