Concentração (% em peso) 60 50 40 30 20 10 0 0 10 20 30 40 50 Distância da superfície do <strong>substrato</strong> (µm) 152 Zr (média: 55 +/- 4) Y (média: 7 +/- 2) Nb (média: 11 +/- 5) O (média: 26 +/- 0) FIGURA 4.42 - Resultado das análises por EDX ao longo da seção transversal da camada cerâmica (amostra cer-14 - 8,0 % <strong>de</strong> ítria mais 20,0 % <strong>de</strong> nióbia em peso no alvo). Os resultados das análises por EDX (média <strong>de</strong> pelo menos três medidas e corrigidos para porcentagem em peso dos óxidos) <strong>de</strong> diversos <strong>revestimentos</strong> <strong>cerâmicos</strong> são apresentados na Tabela 4.11. Observa-se que a composição química dos <strong>revestimentos</strong> (por EDX) é diferente daquela dos alvos (dada pelas massas dos óxidos usadas para a preparação dos alvos), provavelmente <strong>de</strong>vido ao efeito da evaporação seletiva dos compostos químicos (item 2.8) e pelas imprecisões inerentes às análises químicas quantitativas <strong>de</strong> óxidos feitas por esta técnica. TABELA 4.11 - Composição química dos alvos e dos <strong>revestimentos</strong> <strong>cerâmicos</strong>. Amostra ZrO2 (% em mol ) Alvo Camada YO1,5 (% em mol ) Alvo Camada NbO2,5 (% em mol ) Alvo Camada cer-03 91,3 92,5 8,7 7,5 0 0 cer-04 91,3 91,9 8,7 8,1 0 0 cer-06 91,3 95,2 8,7 4,8 0 0 cer-07 91,3 93,2 8,7 6,8 0 0 cer-08 87,0 89,8 8,0 5,1 5,0 5,1 cer-09 82,0 86,4 8,7 6,1 9,3 7,5 cer-10 80,0 80,5 10,0 10,7 10,0 8,8 cer-11 77,2 78,7 8,8 10.4 14,0 10,9 cer-12 74,9 73,3 11,1 13,8 14,0 12,9 cer-13 72,7 71,5 9,1 8,5 18,2 20,0 cer-14 72,5 75,1 8,8 10,4 18,7 14,5
Utilizando os resultados das análises obtidas por EDX é possível reconstruir o gráfico da Figura 4.34 e verificar que a correlação linear passa <strong>de</strong> R=0,776 para R=0,925, um aumento <strong>de</strong> 20 % (Figura 4.43). Observa-se, também, que a equação da regressão linear permanece a mesma. É <strong>de</strong> se esperar que, com análises químicas mais precisas, o coeficiente <strong>de</strong> correlação linear aproxime ainda mais do valor unitário. monoclínica c/a cúbica 1,045 1,040 1,035 1,030 1,025 1,020 1,015 1,010 c/a=1,022+0,002(NbO 2,5 -YO 1,5 ) R=0,925 soluções sólidas instáveis estáveis -10 -5 0 5 10 15 NbO 2,5 - YO 1,5 (% mol) FIGURA 4.43 - Influência da quantida<strong>de</strong> <strong>de</strong> nióbia e ítria na tetragonalida<strong>de</strong> <strong>de</strong> <strong>de</strong>pósitos <strong>de</strong> zircônias co-dopadas. Temperatura do <strong>substrato</strong> aproximadamente <strong>de</strong> 960 o C (análise por EDX na seção transversal polida da camada cerâmica). 4.5.3 O Sistema A Figura 4.44 apresenta uma micrografia da seção transversal polida <strong>de</strong> um sistema típico, on<strong>de</strong> são possíveis distinguir o <strong>substrato</strong>, a camada <strong>de</strong> ligação e o revestimento cerâmico. 153
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