Estudo de revestimentos cerâmicos sobre substrato metálico obtido

Concentração (% em peso)
60
50
40
30
20
10
0
0 10 20 30 40 50
Distância da superfície do substrato (µm)
152
Zr (média: 55 +/- 4)
Y (média: 7 +/- 2)
Nb (média: 11 +/- 5)
O (média: 26 +/- 0)
FIGURA 4.42 - Resultado das análises por EDX ao longo da seção transversal da
camada cerâmica (amostra cer-14 - 8,0 % de ítria mais 20,0 % de
nióbia em peso no alvo).
Os resultados das análises por EDX (média de pelo menos três medidas e
corrigidos para porcentagem em peso dos óxidos) de diversos revestimentos cerâmicos
são apresentados na Tabela 4.11. Observa-se que a composição química dos
revestimentos (por EDX) é diferente daquela dos alvos (dada pelas massas dos óxidos
usadas para a preparação dos alvos), provavelmente devido ao efeito da evaporação
seletiva dos compostos químicos (item 2.8) e pelas imprecisões inerentes às análises
químicas quantitativas de óxidos feitas por esta técnica.
TABELA 4.11 - Composição química dos alvos e dos revestimentos cerâmicos.
Amostra
ZrO2 (% em mol )
Alvo Camada
YO1,5 (% em mol )
Alvo Camada
NbO2,5 (% em mol )
Alvo Camada
cer-03 91,3 92,5 8,7 7,5 0 0
cer-04 91,3 91,9 8,7 8,1 0 0
cer-06 91,3 95,2 8,7 4,8 0 0
cer-07 91,3 93,2 8,7 6,8 0 0
cer-08 87,0 89,8 8,0 5,1 5,0 5,1
cer-09 82,0 86,4 8,7 6,1 9,3 7,5
cer-10 80,0 80,5 10,0 10,7 10,0 8,8
cer-11 77,2 78,7 8,8 10.4 14,0 10,9
cer-12 74,9 73,3 11,1 13,8 14,0 12,9
cer-13 72,7 71,5 9,1 8,5 18,2 20,0
cer-14 72,5 75,1 8,8 10,4 18,7 14,5