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Estudo de revestimentos cerâmicos sobre substrato metálico obtido

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FIGURA 2.14 - Ilustração esquemática representando a chegada <strong>de</strong> átomo na superfície<br />

<strong>de</strong> um filme.<br />

FONTE: [41].<br />

Mo<strong>de</strong>los anteriores [39] a Yang et al [41] não levam em consi<strong>de</strong>ração a difusão<br />

atômica e prevêm baixa <strong>de</strong>nsida<strong>de</strong>. Na prática, na maioria dos processos <strong>de</strong> <strong>de</strong>posição, a<br />

difusão atômica ocorre simultaneamente com a <strong>de</strong>posição.<br />

A Figura 2.15 apresenta o efeito da temperatura do <strong>substrato</strong> na<br />

microestrutura/morfologia do filme, e consi<strong>de</strong>rando:<br />

- TH = 0,22: estrutura <strong>de</strong> baixa <strong>de</strong>nsida<strong>de</strong> <strong>de</strong> empacotamento (0,79). Esta<br />

estrutura é <strong>de</strong>vida à geração <strong>de</strong> sombras e representa a Zona I do diagrama<br />

<strong>de</strong> Movchan;<br />

- TH = 0,26: <strong>de</strong>nsida<strong>de</strong> <strong>de</strong> empacotamento <strong>de</strong> 0,97. Os contornos <strong>de</strong> grão<br />

abertos <strong>de</strong>saparecem e os contornos das colunas ficam mais <strong>de</strong>finidos mas<br />

a superfície ainda é muito rugosa;<br />

- TH = 0,35: é observada uma estrutura colunar completamente <strong>de</strong>nsa e uma<br />

superfície facetada típica da Zona 2. O contorno das colunas po<strong>de</strong> ser<br />

observado com a ajuda dos traçadores;<br />

- TH = 0,48: a superfície começa a ficar completamente plana e a largura das<br />

colunas aumenta.<br />

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