Estudo de revestimentos cerâmicos sobre substrato metálico obtido

(111) e (400) dos difratogramas de raios X (coeficiente de correlação R=-0,75). Quanto
maior for a temperatura do substrato durante a deposição, menor a tetragonalidade,
passando de c/a=1,0181, em 200 o C, para c/a=1,0106, em 1000 o C (Figura 4.33). Estes
resultados indicam que, à medida que a temperatura aumenta, os valores de
tetragonalidade aproximam-se dos teóricos, dados pelas equações 2.18 e 2.19
(c/a=1,0106). Ou seja, quanto mais alta a temperatura (desde que dentro da zona 2 para
garantir uma estrutura colunar), mais organizada, menos distorcida e com menor
densidade de defeitos será a estrutura cristalina dos depósitos e a relação c/a será mais
próxima dos valores teóricos.
c/a
1,020
1,018
1,016
1,014
1,012
1,010
c/a=1,02071-7,9797.10 -6 T
R=-0,74913
200 400 600 800 1000
Temperatura ( o C)
FIGURA 4.33 - Correlação entre tetragonalidade e temperatura do substrato nos filmes
de zircônia com 8% em peso de ítria (composição química dada pelas
massas dos pós para confecção dos alvos).
A influência da quantidade de nióbia e ítria na tetragonalidade é evidenciada
pelo gráfico da Figura 4.34; quanto maior a quantidade de nióbia e menor a de ítria no
alvo cerâmico que dará origem ao revestimento, maior a relação c/a calculada a partir
dos difratogramas de raios X dos depósitos (coeficiente de correlação linear, R=0,776).
O coeficiente de correlação linear relativamente baixo pode ser atribuído, entre outros
motivos, ao fato da composição química ser dada pelas massas dos pós para confecção
dos alvos e não pela composição química real dos depósitos cerâmicos. Como a
tetragonalidade é diretamente dependente da quantidade de nióbia e inversamente
dependente da quantidade de ítria (Figura 2.28), a abscissa do gráfico traz a diferença
entre as duas frações molares.
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