Estudo de revestimentos cerâmicos sobre substrato metálico obtido

CAPÍTULO 3
EQUIPAMENTOS, MATERIAIS E MÉTODOS.
3.1 Forno de Fusão por Feixe Eletrônico
Neste trabalho, os revestimentos foram obtidos usando-se um forno de fusão por
feixe de elétrons (marca JEOL LTD, modelo JEBM-30D), alocado no AMR/IAE/CTA e
especialmente modificado para a produção de revestimentos metálicos e cerâmicos
(Figura 3.1). Esse equipamento é constituído de um canhão de elétrons com tensão de
aceleração de 25 kV e corrente do feixe com variação de 0 a 1,2 A. O sistema de vácuo
permite alcançar uma pressão final na câmara de evaporação de 10 -4 Pa (~10 -6 Torr)
[107].
As demais características do forno de fusão por feixe eletrônico utilizado nesse
trabalho são as seguintes:
- potência máxima: 30 kW;
- sistema de deflexão lateral (X): 50 V, DC / 100mA;
- sistema de deflexão transversal (Y): +/-5 V, DC / 100mA e
- sistema de vácuo: 1 bomba mecânica e três bombas difusoras.
(a)
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(b)
Porta
amostra
FIGURA 3.1 - (a) Vista geral do forno de fusão por feixe eletrônico do AMR/IAE/CTA;
(b) vista interna da câmara de fusão/evaporação do forno.
Com recursos financeiros obtidos junto à FAPESP, Projeto de Pesquisa
Individual número 02/06514-1, realizaram-se as modificações no forno para sua
utilização como equipamento de evaporação. Estas modificações incluem:
- proteção radiológica;
alvo